1.新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,包括旋转圆柱靶(1),其特征在于:所述旋转圆柱靶(1)的一端安装有侧边固定块(2),所述旋转圆柱靶(1)的另一侧安装有连接传动套(3),所述连接传动套(3)的另一侧安装有固定限位板(4),所述固定限位板(4)的另一侧安装有固定腔体套(5),所述固定腔体套(5)的另一侧安装有传动陶瓷轴承(6),所述传动陶瓷轴承(6)的另一侧安装有部件安装架(7),所述部件安装架(7)另一侧的上方安装有伺服电机(8),所述伺服电机(8)的下方安装有电器工作箱(9),所述部件安装架(7)的另一端设置有连接固定套(14),所述连接固定套(14)的内侧安装有内部固定片(15)。
2.根据权利要求1所述的新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,其特征在于:所述固定腔体套(5)和固定限位板(4)通过螺栓连接,所述伺服电机(8)和电器工作箱(9)与部件安装架(7)均通过螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,其特征在于:所述旋转圆柱靶(1)的长度设置为一千三百三十毫米。
4.根据权利要求1所述的新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,其特征在于:所述电器工作箱(9)一端的下方安装有传动安装块(10),所述传动安装块(10)的中间位置处安装有传动固定轴(11)。
5.根据权利要求1所述的新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,其特征在于:所述电器工作箱(9)一端的上方安装有电机安装块(12),所述电机安装块(12)的中间位置处设置有传动固定槽(13)。
6.根据权利要求1所述的新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,其特征在于:所述连接固定套(14)上设置有固定安装孔(16),固定安装孔(16)设置有若干个,且若干个固定安装孔(16)依次分布,所述内部固定片(15)的外侧设置有固定垫圈(17)。