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一种密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装
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专利号:
2021233728814
申请人:
上海振卡新材料科技有限公司
专利类型:
实用新型
专利状态:
已下证
更新日期:
2025-12-08
缴费截止日期:
暂无
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国家局暂未公布该信息
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