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专利号: 2022203978571
申请人: 温州市国益实业有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种双室磁控溅射真空镀膜机,包括镀膜机(1),其特征在于:所述镀膜机(1)的一侧设有稳定结构(2);

所述稳定结构(2)包括斜杆(201)、底座(202)、直板(203)、螺纹杆(204)、圆杆(205)和竖块(206);

所述直板(203)的一端与镀膜机(1)的一侧下方固定连接,所述直板(203)的一侧内壁间隙配合有底座(202),所述底座(202)的前端面上方通过销轴转动连接有斜杆(201),所述斜杆(201)的前端面通过销轴转动连接有圆杆(205),所述圆杆(205)的前端面下方通过销轴与直板(203)的前端面转动连接,所述斜杆(201)的一侧通槽滑动卡接有竖块(206),所述竖块(206)的底部通过轴承转动连接有螺纹杆(204),所述螺纹杆(204)的外壁与直板(203)的另一侧内壁螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种双室磁控溅射真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜机(1)的一侧上方固定设置有横块(7),所述横块(7)的顶部固定设置有竖板(5)。

3.根据权利要求2所述的一种双室磁控溅射真空镀膜机,其特征在于:所述竖板(5)的顶部固定设置有横板(6),所述横板(6)的顶部一侧固定设置有曲板(8)。

4.根据权利要求3所述的一种双室磁控溅射真空镀膜机,其特征在于:所述横板(6)的上方设有限位结构(3);

所述限位结构(3)包括直杆(301)、竖筒(302)、板体(303)、外壳(304)和弹簧一(305);

所述直杆(301)的底部与横板(6)的顶部一侧固定连接,所述直杆(301)的外壁间隙配合有竖筒(302),所述竖筒(302)的顶部固定设置有板体(303),所述板体(303)的底部固定设置有外壳(304),所述外壳(304)的内壁顶部一侧固定设置有弹簧一(305),所述弹簧一(305)的底部与曲板(8)的顶部固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种双室磁控溅射真空镀膜机,其特征在于:所述曲板(8)的一侧设有滑动结构(4);

所述滑动结构(4)包括杆体(401)、滑杆(402)、滑块(403)和弹簧二(404);

所述滑杆(402)的一端与曲板(8)的一侧下方固定连接,所述滑杆(402)的外壁滑动卡接有滑块(403),所述滑块(403)的前端面通过销轴转动连接有杆体(401),所述杆体(401)的前端面上方通过销轴与竖筒(302)的前端面下方转动连接,所述滑块(403)的一侧上方固定设置有弹簧二(404),所述弹簧二(404)的一端与曲板(8)的一侧上方固定连接。