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专利号: 2022232391511
申请人: 南昌瀚宸新材料科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部的中心处安装有第一洁净室(2),所述第一洁净室(2)的内部安装有磁控溅射镀膜机本体(3);

所述第一洁净室(2)的两侧均开设有进料口(4)和排料口(5);

所述进料口(4)和排料口(5)远离第一洁净室(2)的一侧均安装有第二洁净室(6);

所述第二洁净室(6)的顶部安装有净化组件,所述净化组件的一端与第二洁净室(6)顶部的一侧连通;

所述第二洁净室(6)内腔的一侧安装有移动吹尘组件,所述净化组件的另一端延伸至第二洁净室(6)的内部并与移动吹尘组件连通。

2.根据权利要求1所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述第二洁净室(6)的内部且位于远离第一洁净室(2)的一侧安装有第一密闭门(7),所述第二洁净室(6)的内部且位于第一密闭门(7)和第一洁净室(2)之间安装有密封板(8),所述密封板(8)内部的一侧安装有第二密闭门(9)。

3.根据权利要求2所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述第一密闭门(7)和第二密闭门(9)之间形成有洁净仓(10),所述移动吹尘组件安装在洁净仓(10)内部的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述移动吹尘组件包括电动滑轨(11),所述电动滑轨(11)安装在洁净仓(10)内部的一侧,所述电动滑轨(11)的动力输出端安装有空心支架(12)。

5.根据权利要求4所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述空心支架(12)远离电动滑轨(11)的一端安装并连通有空心柱(13),所述空心柱(13)的表面开设有气孔。

6.根据权利要求5所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述净化组件包括风机(14),所述风机(14)安装在第二洁净室(6)的顶部,所述风机(14)的进气端延伸至洁净仓(10)的内部并与洁净仓(10)的内部连通。

7.根据权利要求6所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述风机(14)的排气端连通有空气过滤器(15),所述空气过滤器(15)的排气端连通有连接管(16),所述连接管(16)的一端贯穿第二洁净室(6)并延伸至洁净仓(10)的内部。

8.根据权利要求7所述的一种具有密封结构的磁控溅射镀膜机,其特征在于:所述连接管(16)的底部连通有伸缩管(17),所述伸缩管(17)的底部与空心支架(12)的顶部连通。