1.一种化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄，真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上，隔绝沉积腔体外的空气，使沉积腔体保持真空环境，支撑杆底部设有固定杆，固定杆与沉积腔体连接固定，挡板设置于沉积腔体内，挡板与挡板连接杆一端连接，挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架，与手柄连接，挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接，通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄带动挡板移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆止动固定，防止挡板移动和转动；

止动装置包括止动器、防转动杆和防滑动杆，防转动杆的一端与挡板连接杆连接，防转动杆的另一端与防滑动杆的一端连接，防滑动杆的另一端穿过支撑杆，防滑动杆通过轴承与支撑杆连接，防滑动杆与挡板连接杆平行设置，防滑动杆通过防转动杆随挡板连接杆横向移动，止动器设置于防滑动杆上，当挡板随挡板连接杆移动到合适位置时，通过止动器对防滑动杆止动固定，进而防止挡板连接杆移动，挡板连接杆通过防转动杆与防滑动杆连接，防止挡板连接杆转动。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，止动器套装于防滑动连接杆上，止动器上设有紧定手柄，防滑动杆上沿轴向设有多个凹槽，拧紧紧定手柄，使紧定手柄的下端插入到防滑动杆上相应的凹槽内，起到防滑固定作用。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，真空转接法兰内设有密封圈，挡板连接杆套装于密封圈上。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，所述密封圈为O型密封圈。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，还包括步进电机，步进电机与手柄连接，通过带动手柄移动，进而精确控制挡板的移动位移。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，所述挡板为L型，挡板的L形短边上设有通孔，固定螺丝穿过通孔旋入挡板连接杆一端的螺丝孔内。