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专利号: 2021205086358
申请人: 上海仟纳真空镀膜科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-07-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部的左侧固定连接有控制箱(3),所述底板(1)的顶部且位于控制箱(3)的右侧固定连接有镀膜设备(2),所述底板(1)顶部的右侧固定连接有输送箱(4),所述输送箱(4)的正表面活动连接有箱门(5),所述箱门(5)正表面右侧的顶部固定连接有控制器(6),所述输送箱(4)右侧的底部贯穿设置有传送机构(17),所述输送箱(4)内腔顶部的左侧固定连接有冷却箱(8),所述输送箱(4)顶部的左侧贯穿安装有防尘滤网(9),所述冷却箱(8)右侧的底部固定连接有制冷机组(11),所述制冷机组(11)的输出端连通有制冷管(10),所述制冷管(10)远离制冷机组(11)的一侧贯穿至冷却箱(8)的内腔并与冷却箱(8)内腔右侧的顶部固定连接,所述冷却箱(8)的底部固定连接有气泵(7),所述气泵(7)的顶部与冷却箱(8)的底部连通,所述气泵(7)的底部连通有出气端(23),所述输送箱(4)内腔顶部的中心处固定连接有壳体(24),所述壳体(24)内腔的后侧固定连接有电机(20),所述电机(20)的输出端固定连接有螺纹杆(21),所述螺纹杆(21)的前侧贯穿至壳体(24)的内腔并与壳体(24)内腔的前侧活动连接,所述螺纹杆(21)表面的前后两侧均活动套设有螺纹套(13),所述螺纹套(13)的底部固定连接有电动伸缩杆(15),所述壳体(24)的底部开设有与电动伸缩杆(15)配合使用的限位孔(18),所述电动伸缩杆(15)的底部穿过限位孔(18)延伸至壳体(24)的底部并固定连接有限位板(16),所述输送箱(4)内腔顶部的右侧固定连接有红外收发传感器(14)。

2.根据权利要求1所述的一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备,其特征在于:所述输送箱(4)右侧的底部开设有与传送机构(17)配合使用的通孔(19),所述底板(1)的底部开设有防滑纹。

3.根据权利要求1所述的一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备,其特征在于:所述壳体(24)的后侧且位于电机(20)的外侧固定连接有保护罩,所述限位杆(12)的表面与限位孔(18)内壁的连接处活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备,其特征在于:所述螺纹套(13)的顶部固定连接有限位杆(12),所述壳体(24)内腔的顶部开设有与限位杆(12)配合使用的限位槽(22)。

5.根据权利要求1所述的一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备,其特征在于:所述螺纹杆(21)的表面与螺纹套(13)内壁的连接处螺纹连接,所述螺纹杆(21)的前侧与壳体(24)内腔前侧的连接处通过轴承活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有智能检测功能的磁控溅射离子镀膜设备,其特征在于:所述箱门(5)靠近输送箱(4)正表面的一侧与输送箱(4)正表面的连接处通过铰链活动连接,所述箱门(5)正表面右侧的底部贯穿安装有观察镜。