1.一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:包括工作台(1),所述工作台(1)上设有放置环(5),所述放置环(5)开有供载盘卡入的放置槽(53)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述放置环(5)开有若干连通于放置槽(53)的通孔,工作台(1)设有位于通孔内的负压管(462),所述负压管(462)连接有抽风机(46)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述工作台(1)上设有第一滑台模组(2),所述第一滑台模组(2)上设有第二滑台模组(3),所述第二滑台模组(3)上设有承托台(4),放置环(5)设于承托台(4)上。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述工作台(1)上设有位于放置环(5)中间的定位杆(11),承托台(4)开有供定位杆(11)穿过的让位孔(47),所述定位杆(11)上套设有导电环(112),所述导电环(112)连接于感应器(12),所述感应器(12)、第一滑台模组(2)和第二滑台模组(3)均连接于控制器。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述导电环(112)为导电弹簧。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述承托台(4)上转动连接有若干转动管(41),所述转动管(41)上套设有转轮(411),放置环(5)上转动连接有插入转动管(41)并与转动管(41)螺纹连接的螺纹杆(52),若干转轮(411)共同套设有传动带(412),承托台(4)上设有用于驱动转动管(41)转动的动力组件。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述动力组件包括设于承托台(4)上的驱动杆(43),所述驱动杆(43)上套设有与传动带(412)配合使用的驱动轮(431),工作台上设有安装架(42),安装架(42)上设有动力电机(421),动力电机(421)的输出轴连接于驱动杆(43)。
8.根据权利要求6所述的一种晶圆取粒机载盘放置装置,其特征在于:所述承托台(4)上设有安装板(45),所述安装板(45)上螺纹连接有调节杆(451),所述调节杆(451)上设有抵接于传动带(412)的调节板(452)。