1.一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:包括工作台(1),所述工作台(1)上设有支撑柱(11),所述支撑柱(11)上设有安装块(2),所述安装块(2)上转动连接有取粒爪(3),所述取粒爪(3)上设有取粒组件,安装块(2)上设有电机(21),所述电机(21)的输出轴连接于取粒爪(3)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述取粒组件包括设于取粒爪(3)上的取粒块(4),所述取粒块(4)上安装有吸粒管(43),所述吸粒管(43)连接有负压管(42),工作台(1)上设有抽风机(15),负压管(42)连接于抽风机(15)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述吸粒管(43)上设有卡接管(44),所述卡接管(44)上套设有吸粒帽(45)。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述取粒块(4)与取粒爪(3)滑移连接,取粒爪(3)上设有凸块(34),所述凸块(34)上设有缓冲杆(35),所述缓冲杆(35)上套设有缓冲弹簧(36),所述缓冲弹簧(36)的一端连接于取粒块(4),另一端连接于凸块(34)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述取粒爪(3)上设有滑条(31),取粒块(4)开有供滑条(31)卡入的滑槽,所述滑条(31)上设有弹珠螺丝(312)。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述取粒爪(3)上设有用于固定负压管(42)的固定环(33)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述支撑柱(11)上设有滑轨(14),所述安装块(2)套设于滑轨(14)并与滑轨(14)滑移连接,滑轨(14)的端部设有限位板(131),支撑柱(11)上设有用于驱动安装块(2)移动的驱动件。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆取粒机取粒装置,其特征在于:所述驱动件为设于支撑柱(11)上的气缸(13),所述气缸(13)的输出轴连接于安装块(2)。