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专利号: 202120417598X
申请人: 苏州新米特电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:包括机体(1),所述机体(1)上设有工作台(11),所述工作台(11)上滑移设有放置板(6),所述放置板(6)开有用于容纳收纳盒的容纳槽(61),放置板(6)设有位于容纳槽(61)内的弹性夹片(63)。

2.根据权利要求1所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述弹性夹片(63)的端部弯折成凸起部(631)。

3.根据权利要求1所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述放置板(6)开有与容纳槽(61)连通的让位槽(62)。

4.根据权利要求3所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述让位槽(62)连通于相邻的两个容纳槽(61)。

5.根据权利要求1所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述放置板(6)上的容纳槽(61)开设若干个,若干容纳槽(61)呈两排分布。

6.根据权利要求1所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述弹性夹片(63)连接有安装片(632),所述安装片(632)通过螺丝(633)与放置板(6)连接。

7.根据权利要求1所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述工作台(11)上设有第一主滑台模组(2),所述第一主滑台模组(2)上设有第一副滑台模组(3),放置板(6)位于第一副滑台模组(3)上。

8.根据权利要求7所述的一种带有收纳盒放置装置的晶圆取粒机,其特征在于:所述工作台(11)上设有与第一主滑台模组(2)平行的第二主滑台模组(4),第二主滑台模组(4)上设有与第一副滑台模组(3)平行的第二副滑台模组(5),所述第二副滑台模组(5)上设有副放置板(55)。