1.一种晶圆载盘放置架，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上设有吸盘(6)，所述吸盘(6)开口朝上且与晶圆载盘相抵触，所述底板(1)上方固定有多个夹持组件(2)，所述夹持组件(2)包括夹片(22)、扭簧(23)和两个压片(24)，所述夹片(22)铰接于所述底板(1)顶面，所述扭簧(23)设置于所述夹片(22)和所述底板(1)铰接处，且所述扭簧(23)的一端伸长并与所述夹片(22)的顶面相抵接，所述扭簧(23)的另一端伸长且与所述底板(1)的顶面相抵接，所述压片(24)与所述底板(1)顶面接触处穿设有固定杆(241)，所述压片(24)绕所述固定杆(241)转动设置于所述底板(1)顶面，两个所述压片(24)分布于所述夹片(22)两端的两侧及所述夹片(22)长度方向的同一侧，多个所述夹片(22)和多个所述压片(24)位于同一圆周上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述夹片(22)与所述底板(1)铰接处穿设有中心杆(211)，所诉中心杆(211)的一端连接有旋钮(31)，所述旋钮(31)绕所述旋钮(31)的中心轴转动设置于所述底板(1)上方，所述旋钮(31)上连接有C形的夹持块(33)，所述夹片(22)嵌合于所述夹持块(33)内。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述夹片(22)与所述底板(1)间设有垫板(21)，所述垫板(21)靠近所述旋钮(31)的一侧连接有限位板(32)，所述限位板(32)与所述旋钮(31)相贴的一面设有若干第一棘齿(321)，所述旋钮(31)与所述限位板(32)相贴的一面设有与所述第一棘齿(321)嵌合配合的第二棘齿(311)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述中心杆(211)远离所述旋钮(31)的一端设有复位板(212)，所述复位板(212)与所述夹片(22)间连接有用于将所述旋钮(31)复位的第一弹簧(4)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述夹片(22)底面连接有挡板(222)，所述挡板(222)与晶圆载盘边缘紧贴。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述夹片(22)底面粘接有垫片(221)，所述垫片(221)与所述晶圆载盘顶面相抵触。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述底板(1)与所述夹片(22)间设有用于缓冲所述夹片(22)对晶圆载盘的冲击的第二弹簧(5)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆载盘放置架，其特征在于：所述吸盘(6)呈倒置的葫芦状，所述吸盘(6)下端连接有用于抽取所述吸盘(6)内气体的气泵(61)。