利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2021115359322
申请人: 智研信息科技(临沂)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.半导体加工的具有铁屑清理功能的加工装置,其特征在于,包括编织结构(1),所述编织结构(1)连接有用于运输半导体器件的运输结构(4),所述编织结构(1)连接有用于对运输结构(4)上的铁屑进行清除的清理结构(2),所述清理结构(2)连接有用于对清理结构(2)上的铁屑进行收集的收集结构(3),所述清理结构(2)上连接有用于对清理结构(2)进行刮蹭清理的刮蹭结构(5),所述清理结构(2)安装有用于对半导体器件进行表面铁屑清理的触动结构(6);所述编织结构(1)包括编织台(11),所述编织台(11)上设有放置槽(13);

所述清理结构(2)包括固定块(21),所述编织台(11)靠近于护板(14)的一端安装有固定块(21),所述固定块(21)的内部设有拉槽(26),所述固定块(21)通过拉槽(26)滑动配合有磁板(25),所述磁板(25)的顶端固定连接有拉动块(24),所述固定块(21)滑动连接有拉杆(22),所述拉杆(22)的一端和拉动块(24)转动连接,所述拉动块(24)和拉杆(22)之间抵触有第一扭簧(29),所述固定块(21)靠近于拉杆(22)的一端固定连接有磁块(23),所述拉杆(22)贯穿于磁块(23),所述拉杆(22)和磁块(23)滑动连接,所述磁块(23)和拉杆(22)的一端互相吸引,所述固定块(21)位于磁板(25)的底端设有拉槽(26),所述固定块(21)通过拉槽(26)滑动连接有粘附板(27),所述粘附板(27)被磁板(25)吸引;

所述编织台(11)位于放置槽(13)的一端设有运输槽(15),所述编织台(11)位于运输槽(15)的一端安装有编织组件(12),所述编织台(11)位于运输槽(15)的一端通过螺母连接有护板(14);

所述运输结构(4)包括转轮(42),所述编织台(11)内部位于运输槽(15)的两端均转动连接有一对转轮(42),一对所述转轮(42)之间缠绕啮合有编织带(41),所述编织台(11)一端的两个相邻转轮(42)的底端均通过转轴固定连接有齿轮(43),一对所述齿轮(43)之间相互啮合,所述编织台(11)的一端安装有电机(44),所述电机(44)的输出端和一个齿轮(43)固定连接;

所述收集结构(3)包括收集盒(31),所述固定块(21)滑动连接有收集盒(31),所述收集盒(31)的一端滑动连接有限位块(32),所述限位块(32)和固定块(21)之间固定连接有弹簧(33),所述固定块(21)靠近于限位块(32)的一端设有限位槽(34),所述限位块(32)和限位槽(34)抵触;

所述刮蹭结构(5)包括滑动块(52),所述固定块(21)滑动连接有滑动块(52),所述滑动块(52)和固定块(21)之间固定连接有拉簧(51),所述滑动块(52)底端和收集盒(31)的顶端抵触,所述滑动块(52)的一端转动连接有刮板(53),所述滑动块(52)和刮板(53)之间抵触有第二扭簧(55),所述固定块(21)靠近于滑动块(52)的一端固定连接有抵触柱(54),所述刮板(53)的一端和抵触柱(54)抵触;所述滑动块(52)呈“T”形,所述刮板(53)呈矩形;所述触动结构(6)包括转动板(61),所述固定块(21)的一端转动连接有转动板(61),所述固定块(21)和转动板(61)之间抵触有第三扭簧(63),所述转动板(61)的一端固定连接有清理块(62)。

2.根据权利要求1所述的半导体加工的具有铁屑清理功能的加工装置,其特征在于:所述放置槽(13)呈矩形,所述运输槽(15)呈矩形。

3.根据权利要求1所述的半导体加工的具有铁屑清理功能的加工装置,其特征在于:所述收集盒(31)的顶端呈阶梯状,所述限位块(32)的一端呈斜面状。