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专利号: 2021113306585
申请人: 黄玮婷
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体材料的制备设备,其特征在于,包括:箱体、箱门、夹持装置、镀膜装置和清理装置;

所述箱体的前侧设置有开口,所述箱门可拆卸地盖合于所述箱体的开口,所述箱体内部固定设置有一加工台,所述加工台用于放置半导体;

所述夹持装置和镀膜装置均设置于所述箱体内部,所述夹持装置用于夹持所述半导体,所述镀膜装置用于对所述半导体镀膜;

所述清理装置设置于所述箱体上,用于清理所述加工台。

2.根据权利要求1所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述清理装置包括呈对称设置的两个清理机构,两个所述清理机构分别设置于所述箱体的左右侧;所述清理机构包括驱动组件、滑动组件、连接组件和清洁板,所述滑动组件包括滑座、螺纹杆和滑动块,所述滑座连接于所述箱体的侧壁,所述滑座内部设置有沿所述箱体前后方向延伸的滑槽,所述螺纹杆可转动地设置于所述滑槽内,且所述螺纹杆的轴向与所述滑槽的延伸方向相同,所述滑动块可滑动地设置于所述滑槽内,且所述滑动块与所述螺纹杆通过螺纹传动连接;所述驱动组件连接于所述螺纹杆的端部,用于带动所述螺纹杆转动;所述清洁板可滑动地设置于所述加工台中,所述连接组件一端连接于所述滑动块,另一端穿过所述箱体的侧壁连接于所述清洁板。

3.根据权利要求2所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述连接组件包括连接块和液压伸缩杆,所述连接块穿设于所述箱体的侧壁中,并固定连接于所述滑动块,所述液压伸缩杆一端连接于所述连接块,另一端连接于所述清洁板。

4.根据权利要求2所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述驱动组件包括第一电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮和连接杆,所述第一电机固定于所述箱体的后侧,所述第一锥齿轮连接于所述第一电机的输出轴,所述连接杆连接于所述螺纹杆的端部,所述第二锥齿轮设置于所述连接杆上,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮相互啮合。

5.根据权利要求2所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述清洁板的底部固定连接有清洁球,所述清洁球等间距分布在清洁板的底部。

6.根据权利要求1所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述夹持装置包括呈对称设置的两个夹持机构,两个所述夹持机构分别设置于所述加工台的前后侧,并共同形成一夹持空间。

7.根据权利要求6所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述夹持机构包括电动伸缩杆和夹板,所述电动伸缩杆固定连接于所述加工台上,所述夹板连接于所述电动伸缩杆的输出端,两个所述夹持机构的夹板之间形成所述夹持空间。

8.根据权利要求1所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述镀膜装置包括支撑架、第二电机、转动杆、传动机构、转盘和镀膜喷枪,所述支撑架固定设置于所述箱体内,且所述支撑架位于所述加工台的上方,所述第二电机固定设置于所述支撑架上,所述转动杆可转动地设置于所述支撑架中,所述第二电机的输出轴通过所述传动机构连接所述转动杆,所述转盘固定连接于所述转动杆的底部,所述镀膜喷枪固定连接于所述转盘的底部。

9.根据权利要求1‑8任一项所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:还包括排气装置,所述排气装置设置于所述箱体的顶部,用于将所述箱体的空气排出。

10.根据权利要求9所述的用于半导体材料的制备设备,其特征在于:所述排气装置包括抽气泵、抽气头和连接管,所述抽气泵固定连接于所述箱体的顶部,所述抽气头位于所述箱体内,并通过所述连接管与所述抽气泵连接。