1.一种半导体材料制备扩散炉,包括炉体(1),其特征在于,所述炉体(1)的内壁设置有螺旋状的电加热丝(2),所述炉体(1)的底面贯穿有进气管(3),所述进气管(3)的管壁位于炉体(1)的内壁固定连接有多个喷头(4),所述炉体(1)的内壁设置有截面呈L型的支撑筒(5),所述支撑筒(5)的内壁固定连接有多个放置盘(6),所述支撑筒(5)的内壁开设有若干间隔排列的通气孔(7),所述炉体(1)内壁的上侧卡接有炉盖(8),所述炉体(1)右面从上至下依次固定连接有呈L型的出气管(9)、冷却筒(10)、净化箱(11),所述冷却筒(10)的内壁设置有包覆范围可变的冷却装置,所述净化箱(11)的内壁设置有包覆范围可变的净化装置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料制备扩散炉,其特征在于,所述冷却装置包括设置在冷却筒(10)内壁的螺旋导流片(12),所述冷却筒(10)的顶面固定连接有进水管(13),所述冷却筒(10)底面固定连接有出水管(14)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体材料制备扩散炉,其特征在于,所述净化装置包括设置在净化箱(11)内壁的多个活动框(15),所述净化箱(11)内壁的前后两侧位于多个活动框(15)的底面均固定连接有两个限位条(16),多个所述活动框(15)的内壁均设置有净化滤网(17)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体材料制备扩散炉,其特征在于,所述出气管(9)的下端贯穿冷却筒(10)的顶面与其内壁的下侧延伸至其底面并与净化箱(11)的顶面固定连接,所述螺旋导流片(12)的内壁与出气管(9)的管壁固定连接,多个所述活动框(15)的右面均贯穿净化箱(11)内壁右侧延伸至其右面。
5.根据权利要求1所述的一种半导体材料制备扩散炉,其特征在于,所述炉体(1)的底面固定连接有多个支腿(18)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体材料制备扩散炉,其特征在于,所述炉盖(8)顶面的中心处固定连接有第一把手(19)。
7.根据权利要求3所述的一种半导体材料制备扩散炉,其特征在于,多个所述活动框(15)的右面均固定连接有第二把手(20)。