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专利号: 2021225774882
申请人: 天津金鹏源辐照技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-10
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体材料辐照设备,其特征在于:包括辐照组件、按钮开关、箱门、驱动电机和电控柜,所述的按钮开关安装在辐照组件一侧的上方,所述的箱门铰连接在辐照组件的前侧,所述的驱动电机安装在辐照组件背离按钮开关一侧的下方,所述的电控柜安装在辐照组件的上方;

所述的辐照组件包括辐照箱、放置盒、封盖、辐照设备本体、电子束辐照头和透光网,所述的辐照设备本体安装在辐照箱内部的上方,所述的电子束辐照头设置在辐照设备本体的下方,所述的放置盒的两端通过轴套安装在辐照箱内部的下方,所述的封盖安装在放置盒的上方,所述的透光网设置在封盖的中间位置。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料辐照设备,其特征在于:所述的按钮开关通过导线分别与驱动电机和电控柜相连,所述的箱门的尺寸与辐照箱的尺寸匹配,且箱门与辐照箱的连接处设置有密封垫,所述的驱动电机通过导线与电控柜相连,且驱动电机的输出轴通过联轴器与放置盒一侧的主轴相连,所述的电控柜通过电源线与市电相连。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料辐照设备,其特征在于:所述的辐照箱的前侧采用敞口式设置,所述的放置盒的上端采用敞口式设置,且放置盒采用网格结构,所述的封盖的尺寸与放置盒的尺寸匹配,且封盖通过螺栓与放置盒采用可拆卸式相连,该封盖的中间位置开设有凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料辐照设备,其特征在于:所述的辐照设备本体通过导线分别与按钮开关和电控柜相连,所述的电子束辐照头与辐照设备本体为一体式结构,所述的透光网的尺寸与封盖的凹槽的尺寸匹配。