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专利号: 2021102883470
申请人: 青岛科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结,其特征在于,包括锌掺杂铁酸铋层和氧化镍层,锌掺杂铁酸铋薄膜中各成分的摩尔比Bi:(Zn+Fe):O=1:1:3,氧化镍薄膜中各成分的摩尔比Ni:O=1:1。

2.根据权利要求1所述的基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(a)制备锌掺杂铁酸铋和氧化镍前驱体溶液,备用;

(b)对基片进行预处理,在基片上相继旋涂锌掺杂铁酸铋和氧化镍薄膜各一层,每层旋涂完成后均进行烘干及退火处理,即可得到锌掺杂铁酸铋/氧化镍薄膜异质结。

3.根据权利要求2所述的基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结的制备方法,其特征在于,步骤(a)中,对配置完成的锌掺杂铁酸铋和氧化镍前驱体溶液进行2‑

8h陈化处理。

4.根据权利要求2所述的基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结的制备方法,其特征在于,步骤(b)中,锌掺杂铁酸铋层和氧化镍层的旋涂顺序可以互换。

5.根据权利要求2所述的基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结的制备方法,其特征在于,步骤(b)中锌掺杂铁酸铋层的退火处理为分段升温,即先从室温升温至300‑350℃保持10‑20min进行排胶,继续升温至550‑600℃、保持30‑60min。

6.根据权利要求2所述的基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结的制备方法,其特征在于,步骤(b)中氧化镍层的退火处理为从室温升温至550‑600℃、保持30‑

60min。

7.根据权利要求2所述的基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结的制备方法,其特征在于,步骤(b)中涉及的退火过程,升温速率均为1‑5℃/min,烧结气压气氛为一个大气压的空气,烧结过程没有使用其它气体做保护,降温过程为自然降温。