1.一种In-Bi-Sb相变薄膜材料,其特征在于,所述In-Bi-Sb的结构通式为InxBiySb100-x-y,其中0.1
2.根据权利要求1所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料,其特征在于,10≤x<30,15≤y<
40。
3.根据权利要求1所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料,其特征在于,所述In-Bi-Sb为In10Bi15Sb75、In15Bi20Sb65、In20Bi25Sb55或In25Bi30Sb45。
4.根据权利要求1所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料,其特征在于,所述In-Bi-Sb相变薄膜材料的厚度为150~250nm。
5.根据权利要求1所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料,其特征在于,所述In-Bi-Sb相变薄膜材料的厚度为200nm。
6.一种权利要求1所述的In-Bi-Sb相变薄膜材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)磁控溅射的准备,将洗净的待溅射的基片放置在样品盘上,将InSb靶材、BiSb靶材分别安装在磁控射频溅射靶中,并将磁控溅射镀膜系统的溅射腔室进行抽真空,使用高纯氩气作为溅射气体;
(2)磁控溅射制备InxBiySb100-x-y相变薄膜:
清洁InSb靶材和BiSb靶材表面,然后打开InSb靶材和BiSb靶材上的射频电源进行共溅射,生成InxBiySb100-x-y相变薄膜材料。
7.根据权利要求6所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤(2)具体为:a、将空基托旋转到InSb靶位,打开InSb靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始对InSb靶材表面进行溅射,清洁InSb靶材表面;
b、InSb靶材表面清洁完成后,关闭InSb靶材上所施加的射频电源,将空基托旋转到BiSb靶位,开启BiSb靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始对BiSb靶材表面进行溅射,清洁BiSb靶材表面;
c、将待溅射的样品盘打开,同时打开InSb靶材和BiSb靶材上的射频电源,设定好溅射的功率,调整好靶材倾斜角度,设置通入的气体流量和气压,开始共溅射,生成InxBiySb100-x-y相变薄膜材料。
8.根据权利要求6所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述高纯氩气中Ar的体积百分比≥99.999%,高纯氩气的流量为70SCCM~80SCCM,高纯氩气溅射气压为0.60Pa~0.80Pa。
9.根据权利要求6所述的一种In-Bi-Sb相变薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述磁控溅射所采用射频电源的功率为100W~300W。
10.一种权利要求1~5任一项所述的In-Bi-Sb相变薄膜材料在相变存储器中的应用。