1.一种机械臂，其特征在于，包括臂体和导向组件，在所述臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在所述承载面的周侧设置有导向组件，所述导向组件用于引导所述晶圆位于所述承载面。

2.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述导向组件为转动组件，所述转动组件转动设置于所述臂体，以通过所述转动组件的转动引导所述晶圆位于所述承载面。

3.如权利要求2所述的机械臂，其特征在于，在所述臂体上开设有容置槽，所述承载面位于所述容置槽的底壁；所述转动组件包括导向轮以及转轴，所述导向轮通过所述转轴与所述臂体转动连接。

4.如权利要求3所述的机械臂，其特征在于，所述容置槽相对的两侧壁之间的间距沿槽底至槽口的方向逐渐增大，所述导向轮位于所述容置槽的侧壁。

5.如权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述转动组件包括作用件、限位件和位于所述承载面周侧的转动轮；所述转动轮转动设置于所述臂体，在所述转动轮的轮面上沿远离所述承载面的方向依次设置所述作用件和限位件。

6.如权利要求5所述的机械臂，其特征在于，在所述承载面上还设置有凹槽，所述凹槽与所述作用件对应设置，所述凹槽的形状与所述作用件的形状匹配，用于在所述晶圆位于所述承载面时，容置所述作用件。

7.如权利要求2至6任一项所述的机械臂，其特征在于，所述转动组件为多个，多个所述转动组件沿所述承载面的周侧均布设置。

8.如权利要求2至6任一项所述的机械臂，其特征在于，在所述承载面上还设置有信号传感器，所述信号传感器用于采集所述承载面上的晶圆信号。

9.如权利要求2至6任一项所述的机械臂，其特征在于，在所述臂体上还设置有气体管路，所述气体管路的出口与所述承载面对应。

10.一种机器人，其特征在于，包括本体以及如权利要求1至9任一项所述的机械臂，所述本体与所述机械臂驱动连接。