1.一种具有多晶硅电子通道的SA‑LIGBT器件,其特征在于,从下至上包括P型衬底
(17)、SOI隔离层(16)和顶层半导体区域;所述顶层半导体区域从左至右包括阴极(1)、P+阴极(2)、P‑body(3)、N+电子发射极(4)、栅极(5)、栅氧化层(6)、N型漂移区(7)和阳极区域;所述阳极区域从左至右包括N‑buffer(8)、P+阳极(9)、阳极(10)、多晶硅层(12)、N+阳极(14)和阳极(10),还包括设置在多晶硅层(12)左/右侧下表面的浮空层,以及设置在多晶硅层(12)下表面的二氧化硅隔离层(15),其中浮空层与二氧化硅隔离层(15)左/右接触;所述浮空层包括P型浮空层(11)或N型浮空层(13),或两者同时存在;所述P型浮空层(11)设置在多晶硅层(12)左侧下表面;所述N型浮空层(13)设置在多晶硅层(12)右侧下表面;
所述二氧化硅隔离层(15)上表面被多晶硅层(12)覆盖,下表面与SOI隔离层(16)接触,将N型漂移区(7)分为左右两个部分。
2.根据权利要求1所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述P+阳极(9)和P型浮空层(11)之间间隔一段间距。
3.根据权利要求1所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述N型浮空层(13)和N+阳极(14)接触;阳极(10)分为两部分,分别位于P+阳极(9)和N+阳极(14)的正上方。
4.根据权利要求1所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述P型浮空层(11)为轻掺杂的P型半导体,且掺杂浓度根据需求调节。
5.根据权利要求1所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述N型浮空层(13)为轻掺杂的N型半导体,且掺杂浓度根据需求调节。
6.根据权利要求1所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述阴极(1)位于P+阴极(2)和N+电子发射极(4)的上方,栅极(5)位于栅氧化层(6)的上方;P+阴极(2)和N+电子发射极(4)均被P‑body(3)包围;P‑body(3)和阳极区域被N型漂移区(7)分离。
7.根据权利要求1所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述多晶硅层(12)的掺杂浓度根据需求调节。
8.根据权利要求1或3所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,所述阴极(1)和阳极(10)的材料为金属。
9.根据权利要求1或6所述的SA‑LIGBT器件,其特征在于,栅极(5)的材料为金属或多晶硅。