1.一种存储单元,其特征在于,包括:依次设置的第一沟道层(2)、隧穿层(3)、电荷俘获层(4)、反铁电薄膜层(1)和控制栅电极(5);
所述控制栅电极(5)用于提供控制电压;
所述反铁电薄膜层(1)用于在所述控制电压的作用下增强隧穿层(3)的电场;
所述电荷俘获层(4)用于通过俘获从所述沟道层(2)注入的电荷存储信息。
2.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,还包括:填充层(6),设置于所述第一沟道层(2)内,用于减少所述第一沟道层(2)的体积。
3.根据权利要求1或2所述的存储单元,其特征在于,所述反铁电薄膜层(1)由反铁电薄膜材料制成,为Hf1-xZrxO2(0.5
4.根据权利要求1或2所述的存储单元,其特征在于,电荷俘获层(4)为氮化硅(Si3N4)和绝缘氮化铪薄膜(HfNx,x不小于1.3)中的任意一种。
5.根据权利要求1或2所述的存储单元,其特征在于,所述隧穿层(3)为二氧化硅(SiO2)、二氧化铪(HfO2)和掺杂二氧化铪中的任意一种或多种。
6.根据权利要求1或2所述的存储单元,其特征在于,所述沟道层(2)为多晶硅(Si)、多晶锗(Ge)、多晶硅锗(SiGe),或掺杂的多晶硅(Si)、掺杂的多晶锗(Ge)、掺杂的多晶硅锗(SiGe),掺杂元素为硼(B)、磷(P)和砷(As)中的一种或多种。
7.一种存储器,其特征在于,包括:基底(10)、公共源极(9)、多个选择晶体管(7)和垂直于所述基底(10)的多组存储单元串(100);
其中所述存储单元串(100)由多个如权利要求1-6任一项所述的存储单元串联组成,相邻的所述存储单元的控制栅电极层(5)之间均设置有控制隔离层(8);
所述公共源极(9)设置在所述基底(10)上;
每个所述选择晶体管(7),一端设置在所述公共源极(9)上,另一端的表面上设置有所述存储单元串(100)。
8.根据权利要求7所述的存储器,其特征在于,
所述选择晶体管(7)包括由内至外依次设置的第二沟道层(71)、选择栅介质(72)和选择栅电极(73);
所述第二沟道层(71)与第一沟道层(2)连接。
9.一种存储器的制备方法,其特征在于,用于制备如权利要求7或8所述的存储器,包括:S1,在基底(10)上形成公共源极(9);
S2,在所述公共源极(9)上形成多个选择晶体管(7);
S3,在所述选择晶体管(7)表面上依此交叠沉积隔离层(8)和预设层数的控制栅电极层(5),以形成堆叠层;
S4,在所述多个选择晶体管(7)上方形成预设尺寸的第一通孔,且所述第一通孔贯穿于所述堆叠层;
S5,在所述第一通孔(14)的内壁向靠近轴线的方向上,依次沉积形成反铁电薄膜层(1)、电荷俘获层(4)和隧穿层(3);
S6,采用刻蚀法依次去除沉积在所述第一通孔的底部的隧穿层(3)、电荷俘获层(4)和反铁电薄膜层(1),以使所述第一通孔贯穿直至所述选择晶体管(7)的顶部;
S7,在所述隧穿层(3)的内壁上沉积形成第一沟道层(2)。
10.根据权利要求9所述的存储器的制作方法,其特征在于,还包括:在所述第一沟道层(2)的内壁上沉积填充层(6)以充满所述第一通孔。