1.一种存储器件,其特征在于,包括衬底(1)、隔离层(2)、缓冲层(5)、铁电层(7)、第一浮栅金属层(8)、电荷捕获层(9)、隧穿层(10)和栅金属层(11);
所述衬底(1)两边形成有所述隔离层(2),用于隔离相邻的所述存储器件;
两边的所述隔离层(2)之间的所述衬底(1)上设置有有源区;
所述有源区一边形成源区(3),另一边形成漏区(4);
所述源区(3)和所述漏区(4)通过金属连线与上层金属连线连接,经过多层金属互联形成存储器件的外围电路控制;
所述缓冲层(5)覆盖所述隔离层(2)和所述有源区上不与所述金属连线连接的部分;
所述铁电层(7)、所述第一浮栅金属层(8)、所述电荷捕获层(9)、所述隧穿层(10)和所述栅金属层(11)依次设置在所述源区(3)和所述漏区(4)之间的所述缓冲层(5)上;
所述存储器件的制备方法包括如下步骤:
提供衬底(1);
在所述衬底(1)上形成隔离层(2);
在所述衬底(1)上形成有源区;
在所述有源区上形成源区(3)和漏区(4);
去除在形成所述有源区时,在所述有源区表面产生的损伤和污染;
在所述衬底(1)和所述隔离层(2)上形成缓冲层(5);
在所述缓冲层(5)上形成铁电层(7);
在所述铁电层(7)上形成第一浮栅金属层(8);
在所述第一浮栅金属层(8)上形成电荷捕获层(9);
在所述电荷捕获层(9)上形成隧穿层(10);
在所述隧穿层(10)上形成栅金属层;
对所述铁电层(7)、所述第一浮栅金属层(8)、所述电荷捕获层(9)、所述隧穿层(10)和所述栅金属层(11)进行刻蚀,保留所述源区(3)和所述漏区(4)之间的部分;
在所述源区和所述漏区(4)上形成金属连线。
2.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述铁电层(7)和所述缓冲层(5)之间设置有第二浮栅金属层(6)。
3.根据权利要求2所述的存储器件,其特征在于,所述第一浮栅金属层(8)和第二浮栅金属层(6)为氮化钛、氮化钽、氮化铪、钌、铱、氧化铱、钨和镍中的一种或多种组成的单层或者多层结构。
4.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述衬底(1)包括硅基板、锗基板、砷化镓基板、氧化镓或SOI基板。
5.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述缓冲层(5)包括氧化硅、氧化铪、氧化锆、氧化铝、氧化钇、氮化硅或氮化铪。
6.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述铁电层(7)包括氧化铪、氧化锆或掺杂系列氧化铪以及掺杂系列氧化锆。
7.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述电荷捕获层(9)包括氧化铪、氮化硅、氧化钽、氮化铪或掺杂的氧化硅,以及掺杂系列的氧化铪。
8.根据权利要求1所述的存储器件,其特征在于,所述隧穿层(10)包括氧化铪、氮化硅或氧化硅。
9.一种存储器,其特征在于,包括多个如权利要求1‑8任一项所述的存储器件;
多个所述存储器件通过隔离层(2)隔离开。