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专利号: 201910789929X
申请人: 珠海镓旦科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.用于级联增强型GaN HEMT器件的低寄生参数封装结构,其特征是,包括:高压耗尽型晶体管(10)、低压增强型晶体管(11)、电压调整电路(30)、第一导电基板(J0)、第二导电基板(J31)、第三导电基板(J32)、第四导电基板(J33)、第一绑定线(B31)、第二绑定线(B32)和第三绑定线(B33);第二导电基板(J31)、第三导电基板(J32)和第四导电基板(J33)的背面分别采用绝缘胶粘接在第一导电基板(J0)的正面;低压增强型晶体管(11)的栅极连接到第三导电基板(J32)的正面,第三导电基板(J32)的正面还通过第二绑定线(B32)连接到整个封装结构的栅极;低压增强型晶体管(11)的漏极连接到第四导电基板(J33)的正面,第四导电基板(J33)的正面还连接到电压调整电路(30)的上端和高压耗尽型晶体管(10)的源极;

高压耗尽型晶体管(10)的栅极连接到第一导电基板(J0)的正面、电压调整电路(30)的下端和整个封装结构的源极;高压耗尽型晶体管(10)的漏极连接到第二导电基板(J31)的正面,第二导电基板(J31)的正面还通过第一绑定线(B31)连接到整个封装结构的漏极;低压增强型晶体管(11)的源极通过第三绑定线(B33)连接到第一导电基板(J0)的正面;低压增强型晶体管(11)的源极、高压耗尽型晶体管(10)的栅极和电压调整电路(30)的下端被连接在一起并且被电连接到整个封装结构的源极引线,低压增强型晶体管(11)的栅极电连接到整个封装结构的栅极引线,高压耗尽型晶体管(10)的漏极电连接到整个封装结构的漏极引线,高压耗尽型晶体管(10)的源极电连接到低压增强型晶体管(11)的漏极和电压调整电路(30)的上端。

2.根据权利要求1所述的用于级联增强型GaN HEMT器件的低寄生参数封装结构,其特征是:所述低压增强型晶体管(11)采用VDMOS器件,采用倒装焊之后,其栅极和漏极分别直接通过导电焊料焊接在第三导电基板(J32)正面和第四导电基板(J33)正面。

3.根据权利要求1所述的用于级联增强型GaN HEMT器件的低寄生参数封装结构,其特征是:所述高压耗尽型晶体管(10)为平面器件,其栅极直接通过导电焊料焊接在第一导电基板(J0)正面,其源极通过导电焊料焊接在第四导电基板(J33)正面,其漏极通过导电焊料焊接在第二导电基板(J31)正面。

4.根据权利要求2或3所述的用于级联增强型GaN HEMT器件的低寄生参数封装结构,其特征是:所述绝缘胶和导电焊料的厚度均为20μm-40μm,并且两种材料的耐温特性相当。

5.权利要求1-4任一项所述的用于级联增强型GaN HEMT器件的低寄生参数封装结构的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤一,在第一导电基板(J0)正面涂3处绝缘胶,第一绝缘胶、第二绝缘胶和第三绝缘胶分别对应第二、第三及第四导电基板的位置;

步骤二,将第二、第三及第四导电基板的反面分别通过第一绝缘胶、第二绝缘胶和第三绝缘胶进行固定;

步骤三,在第一、第二、第三和第四导电基板的正面上需要连接器件电极的位置涂导电焊料,导电焊料分别对应高压耗尽型晶体管(10)的漏极、低压增强型晶体管(11)的栅极、低压增强型晶体管(11)的漏极、高压耗尽型晶体管(10)的源极、高压耗尽型晶体管(10)的栅极、电压调整电路(30)的上端以及电压调整电路(30)的下端;

步骤四,高压耗尽型晶体管(10)、低压增强型晶体管(11)及电压调整电路(30)的对应电极通过步骤三涂覆的导电焊料与导电基板正面进行电连接;

步骤五,烘烤工艺,将上一步骤完成的器件放入烘箱,充入氮气作为保护气体,确保烘箱内的氧气含量保持在100ppm以下;烘烤完成后,待烘箱内的温度降低至室温,拿出芯片;

步骤六,压焊工艺,烘烤完成后送入压焊机物料轨道,依照调试好的图像识别和布线方案进行打线,压焊完成之后进行检测;

步骤七,将步骤六检测合格的器件进行封装体注塑固定。

6.根据权利要求5所述的用于级联增强型GaN HEMT器件的低寄生参数封装结构的封装方法,其特征在于:步骤一所使用绝缘胶和所述步骤三所使用导电焊料的厚度均为20μm-40μm,并且两种材料的耐温特性相当。