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专利号: 2019103262263
申请人: 安徽新大陆特种涂料有限责任公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-09-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于晶圆生产离子注入的控制装置,其结构包括活动道(1)、衔接操作头(2)、离子校对输出口(3)、护环(4),所述活动道(1)安装于衔接操作头(2)内部,所述衔接操作头(2)底端与离子校对输出口(3)顶端相连接,所述护环(4)嵌套于离子校对输出口(3)外表面且位于同一轴心上,其特征在于:

所述离子校对输出口(3)包括校对口杆(31)、直射道(32)、完整卡扣(33)、灵活压球(34)、整体囊(35)、隔层(36)、定向顶杆(37),所述校对口杆(31)位于直射道(32)左右两侧,所述完整卡扣(33)与隔层(36)为一体化结构,所述灵活压球(34)位于整体囊(35)内部,所述定向顶杆(37)设有两个;

所述校对口杆(31)包括重力倾向块(311)、顺滑层(312)、卡位槽(313)、耐磨底(314)、缓冲角(315)、主杆(316),所述重力倾向块(311)安装于主杆(316)内部,所述顺滑层(312)与主杆(316)为一体化结构,所述卡位槽(313)安装于缓冲角(315)与耐磨底(314)之间,所述缓冲角(315)包括滑润层(3151)、缓冲球(3152)、回折条(3153)、回力镖(3154)、空格(3155),所述滑润层(3151)设有两个,所述缓冲球(3152)与回力镖(3154)相连接,所述回折条(3153)位于回力镖(3154)外表面,所述回折条(3153)安装于空格(3155)内部,所述回折条(3153)包括软条(31531)、耐压夹角(31532)、折弯限向杆(31533),所述折弯限向杆(31533)安装于软条(31531)内部,所述耐压夹角(31532)嵌入于软条(31531)内部;

所述定向顶杆(37)包括顶壳(371)、稳定三角(372)、固定柱(373)、卡勾(374)、稳固杆(375),所述顶壳(371)与稳固杆(375)相连接,所述稳定三角(372)嵌入于稳固杆(375)内部,所述卡勾(374)卡于固定柱(373)内部,所述稳定三角(372)包括三角条(3721)、顶角(3722)、实芯(3723),所述实芯(3723)嵌入于三角条(3721)内部,所述三角条(3721)与顶角(3722)相连接;

所述灵活压球(34)包括中撑层(341)、外压弧(342)、内囊(343)、限位角(344),所述限位角(344)安装于中撑层(341)内壁,所述内囊(343)位于限位角(344)内部,所述中撑层(341)远离限位角(344)的一端与外压弧(342)相连接。