1.一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器,其特征在于,以正方体为衬底层(1),顶层为光栅层,光栅层为一圆环(2)与圆柱(3)组成的设计图样,圆环(2)内套有圆柱(3),两层结构紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器,其特征在于,所述衬底层(1)为重掺杂的N型硅,所述衬底层(1)的厚度为300μm,周期为200μm,掺杂浓度为
2.91×1018cm-3,对应的电导率为76.9S/m。
3.根据权利要求1所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器,其特征在于,吸收器的顶层厚度为50μm,圆环(2)外半径为90μm,内半径为75μm,圆柱(3)半径为55μm,圆环(2)与圆柱(3)之间形成15μm宽的环型空隙。
4.一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器的制作方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:步骤1,清洗抛光硅片衬底,之后将硅片用氮气吹干;
步骤2,在经步骤1后得到的硅片表面上旋涂一层光刻胶层,并进行烘烤,之后将掩膜版置于光刻胶上;
步骤3,对光刻胶进行曝光,显影后得到周期性的结构图案;
步骤4,通过反应离子刻蚀裸露的硅表面,刻蚀厚度为50μm,之后利用有机溶剂去除剩余光刻胶,得到周期性的半导体结构,即得到宽带可调谐太赫兹波吸收器。
5.根据权利要求4所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器的制作方法,其特征在于,所述步骤2中,光刻胶旋涂时的转速为4000rad/30s,旋涂厚度为4μm。
6.根据权利要求4所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器的制作方法,其特征在于,所述步骤2中,烘烤温度为100℃,烘烤时间为2min。
7.根据权利要求4所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器的制作方法,其特征在于,所述步骤3中,光刻胶在10mJ/cm2的光密度下进行曝光,曝光时长为3~5s,且显影时间为40~45s。
8.根据权利要求4所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器的制作方法,其特征在于,所述步骤4中,采用的刻蚀反应气体为C4F8与SF6的混合气体;C4F8与SF6气体的流量分别为190sccm和450sccm。
9.根据权利要求4所述的一种基于全介质的光可调双带太赫兹吸收器的制作方法,其特征在于,所述步骤4中,有机溶剂为丙酮、甲醇、丁酮或乙醇中的一种或几种。