1.一种纳米载药机器人的制备方法，包括以下步骤：a)提供表面设置有SiO2膜层的衬底基板；

b)在所述SiO2膜层上镀武德合金，形成武德合金膜层；

c)在所述武德合金层上镀磁性材料，形成磁性膜层；

d)将步骤c)得到的多层复合材料进行光刻；

步骤d)中，所述光刻的脉冲能量为150～300μJ；所述光刻的光束直径为0.01～0.02μm；

所述光刻的深度为：不穿透磁性膜层，只穿透磁性膜层，从磁性膜层穿透到武德合金膜层，或从磁性膜层穿透到SiO2膜层；

e)将完成光刻的多层复合材料进行加热至材料中的武德合金膜层溶化，磁性膜层与衬底基板分离，得到磁性纳米载药机器人。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤b)中，所述镀的方式为蒸镀；

所述蒸镀的基底温度为40～60℃；所述蒸镀的蒸发温度为170～400℃；所述蒸镀的蒸‑4 ‑4发速度为1～5晶振点/秒；所述蒸镀的真空度为5×10 ～3×10 Pa。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤b)中，所述武德合金膜层的厚度为50～100nm。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤c)中，所述镀的方式为磁控溅射；

所述磁控溅射的溅射速率为5～10nm/s；所述磁控溅射的时间为40～120s。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤c)中，所述磁性膜层的厚度为10～1000nm。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤e)中，所述多层复合材料在水中进行加热；所述加热的温度为75～80℃。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤e)还包括：待所述磁性膜层与衬底基板分离后，对磁性膜层进行切割。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，步骤e)中，所述切割的方式为激光切割。