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专利号: 2019101563995
申请人: 湖南早晨纳米机器人有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米机器人的制备方法,其特征在于,包括:在基板表面涂覆武德合金薄膜;

刻蚀所述武德合金薄膜,以在所述基板表面形成至少一个凸起;

通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜,所述磁性薄膜覆盖所述凸起;

加热所述凸起,以分离所述基板与所述磁性薄膜;

切割所述磁性薄膜,以制成所述纳米机器人。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜包括:将所述基板固定于镀膜设备的中心旋转轴;其中,所述中心旋转轴的四周设置有对应所述磁性薄膜的靶材;

在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜;其中,所述预设温度不大于所述武德合金薄膜的熔化温度。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜包括:在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜;其中,所述预设温度的取值范围为30℃至50℃,包括端点值。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,加热所述凸起包括:将设置有所述磁性薄膜的基板放置在纯水固定槽中;

加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合金薄膜的熔化温度,并保持预设时间。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合金薄膜的熔化温度,并保持预设时间包括:加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合金薄膜熔化所需的温度,并保持预设时间;其中,所述预设时间的取值范围为5min至10min,包括端点值。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述切割所述磁性薄膜包括:通过激光切割设备切割所述磁性薄膜。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述刻蚀所述武德合金薄膜包括:通过激光刻蚀设备刻蚀所述武德合金薄膜。

8.根据权利要求1至7任一项权利要求所述的方法,其特征在于,所述磁性薄膜为远红外磁性薄膜。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述远红外磁性薄膜包括以下质量分数的组分:质量分数为50%-70%的远红外陶瓷、质量分数为10%-20%的二氧化钛、质量分数为

10%-15%的氧化银、质量分数为10%-15%的氧化锌。

10.一种纳米机器人,其特征在于,包括如权利要求1至9任一项权利要求所述方法所制备而成的纳米机器人。