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专利号: 2018115930054
申请人: 湖南早晨纳米机器人有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.纳米机器人制作工艺,其特征在于,包括以下步骤:研磨清洗玻璃基板,使玻璃基板的表面粗糙度小于预设值;

涂低温解冻胶,在玻璃基板表面均匀涂上低温解冻胶;

沉积,在低温解冻胶表面沉积一层厚度小于50nm的铁磁性材料;

涂热敏耐酸胶,在铁磁性材料的表面均匀涂上热敏耐酸胶;

热敏直写,使用计算机预设纳米机器人图案,每个纳米机器人图案的长度和宽度分别小于500nm,计算机控制热敏直写机在热敏耐酸胶表面作业,并保留覆盖保护纳米机器人图案的热敏耐酸胶;

酸蚀,使用酸液酸蚀已暴露的铁磁性材料;

清洗,对整张玻璃基板以及保留的纳米机器人图案对应的铁磁性材料进行清洗;

剥离,将玻璃基板表面的低温解冻胶解冻,将纳米机器人图案对应的铁磁性材料从玻璃基板上剥离以得到纳米机器人。

2.根据权利要求1所述的纳米机器人制作工艺,其特征在于,所述铁磁性材料为四氧化三铁。

3.根据权利要求1所述的纳米机器人制作工艺,其特征在于,在涂低温解冻胶步骤中,使用等离子电桨喷机在玻璃基板表面均匀涂上低温解冻胶;在涂热敏耐酸胶步骤中,使用等离子电桨喷机在铁磁性材料的表面均匀涂上热敏耐酸胶。

4.根据权利要求1所述的纳米机器人制作工艺,其特征在于,在沉积步骤中,使用真空蒸发机在低温解冻胶表面沉积一层厚度小于50nm的铁磁性材料。

5.根据权利要求1所述的纳米机器人制作工艺,其特征在于,所述酸液包含盐酸、硝酸和水。

6.根据权利要求1所述的纳米机器人制作工艺,其特征在于,在清洗步骤和剥离步骤之间,还包括以下步骤:

烘干,对整张玻璃基板以及保留的纳米机器人图案对应的铁磁性材料进行烘干。

7.根据权利要求1所述的纳米机器人制作工艺,其特征在于,在研磨清洗玻璃基板步骤中,使玻璃基板的表面粗糙度小于