1.一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于，所述的制作方法包括下述工艺步骤：步骤一、对预涂工件表面进行预处理，即用砂轮或砂纸打磨表面进行除锈、除毛刺和飞边，用丙酮清除表面的油污；

步骤二、将Cr、Mn、Fe、Ni-B、Al-Si金属粉按一定比例采用球磨混合进行合金化，再采用加压烧结制成高熵合金靶；

步骤三、将高熵合金靶置于直流阴极上，关闭真空室，先抽真空并充氩气后进行离子清洗；

步骤四、离子清洗完毕后，启动加热器对预涂工件加热进行磁控溅射；

步骤五、磁控溅射完毕即得到AlN、CrN增强的AlCrFeMnNi高熵合金涂层。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于：所述的预涂工件，其材料为高速钢。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于：所述的Cr、Mn、Fe金属粉，其纯度为99.5 100%，粉末粒径为30-120μm；Ni-B金属粉中B的质量百分比~为3 4%，Ni的质量百分比为96 97%；Al-Si金属粉中Si的质量百分比为3 4%，Al的质量百分~ ~ ~比为96 97%；Cr、Mn、Fe、Ni-B、Al-Si金属粉的质量比为1 1.1:1.2 1.3:1.2 1.4:1.2 1.4:~ ~ ~ ~ ~

0.6 0.7。

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4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于：所述球磨混合是采用钢制球磨罐进行球磨混合，其中的磨球与金属粉质量比为2.7 3.3∶1，密封后~打开真空阀抽真空20 30分钟，将球磨罐放入行星式球磨机，转速为 260 300 r/min，倒向~ ~频率 32 45 Hz，进行球磨混合时间为40 50分钟。

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5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于：所述的加压烧结，其工艺为：在氩气保护下加压烧结炉中加压200 320 MPa，烧结温度范围为860-~

970℃，保温4 7分钟。

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6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于：所述的离子清洗，其工艺为：抽真空至2×10-2Pa 2×10-3Pa，通入Ar气调节气体流量计的流量，使~气压稳定在2 6 Pa，并打开负偏压电源，将负偏压调至400～900V 范围，对预涂工件进行离~子轰击辉光清洗，清洗时间10 20分钟，同时启动加热器对预涂工件进行加热。

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7.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法，其特征在于：所述的磁控溅射，其工艺为：真空室先通入10 50升/分的氩气和氮气混合气，其中氩气：氮气的流~量比为1:2 3，工作气压保持在0.5 1.7 Pa，靶间距保持在30 80mm之间，保持工件温度在~ ~ ~

150～190℃、基体偏压为0.3～0.4kV的电压、0.1～0.75A的电流下进行反应磁控溅射，控制溅射时间4～8分钟。