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专利号: 2018106899620
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-24
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于,该方法具体包括以下步骤:

(a)在选定衬底和缓冲层上形成第二半导体层和第一半导体层,并在所述第二半导体层和第一半导体层之间形成异质结构,且在异质结构的界面处第二半导体一侧形成二维电子气;

(b)在第一半导体层上进行离子注入隔离,定义器件的有源区,在有源区,二维电子气得以保留,在非有源区,二维电子气因离子注入而耗尽;

(c)在所述第一半导体上制作源电极和漏电极;所述源电极和漏电极通过形成于该异质结构中的二维电子气电连接;

(d)在所述第一半导体的一侧对器件进行保护,并去除所述的衬底和缓冲层;

(e)对第二半导体进行减薄;

(f)在所述第二半导体底部构造多单元第一金属层;

(g)在每一单元第一金属层上构造N型半导体热电材料;

(h)在每一单元第一金属层上构造P型半导体热电材料;

(i)在每一单元N型热电材料上构造第二金属层;

(j)在每一单元P型热电材料上构造第三金属层,并保证除第一单元的第一金属层和最后一单元的第三金属层之外,每一单元的第三金属层和下一单元的第一金属层进行级联;

(k)在第一金属层和第三金属层上构造电绝缘散热层,并保证散热层跟每一单元的第一金属层和第三金属层有良好的接触;

(l)将第一单元的第一金属层和HEMT器件的源极进行电连接,将最后一单元的第三金属层通过一电阻和一个二极管的阳极连接,将二极管的阴极和HEMT器件的漏极连接;

(m)器件整体封装。

2.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的第一半导体层的材料为AlGaN。

3.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的第二半导体层的材料为GaN。

4.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的P型热电材料采用NaCo2O4。

5.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的N型热电材料采用SiGe。

6.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的第一金属层采用金属Ag。

7.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的第二金属层采用金属Cu。

8.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的第三金属层采用Cu-Mo合金制成。

9.根据权利要求1所述具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法,其特征在于:所述的电绝缘的热良导体散热层采用BN复合陶瓷材料制成。