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专利号: 2017114164640
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种表面梯度薄膜的制备方法,其特征在于:包括表面梯度薄膜制备装置,所述表面梯度薄膜制备装置包括:可实现真空、容纳所有部件的真空腔室;

用于放置并辐射靶材的源;

可分别控制的、与源数量匹配的位于源前可实现部分遮盖的遮板;

用于沉积薄膜的基质;

置于基质背侧、用于加热的加热装置;

所述制备方法还包括以下步骤:

首先将真空腔室抽真空,源内的靶材通过坩埚加热或电子束加热气化,成为离散态的微观粒子,向四周扩散;在经过遮板位置时,部分微观粒子会被遮挡,通过调节遮板的大小、方向来控制经过的微观粒子的含量和扩散的主次方向;

当至少采用两个源时,遮板可以保持一定姿态,使各个方向源的辐射强度不同,在某个方向形成线性梯度,也可以在制备过程中保持转动,使各个方向源的辐射强度均匀;若遮板遮盖区域大小不变,则可在一定范围制备出梯度在有限范围内变化的梯度薄膜,梯度仍遵循线性变化;若控制遮盖区域匀速变化,则可通过匀速规律移动基质,在基质表面形成0%~100%多组分横向梯度变化的薄膜;通过控制基质按规律移动,可在基质的不同部位进行薄膜加工,最后通过加热装置给基质加热进行退火晶化处理。