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专利号: 2011101422079
申请人: 比亚迪股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:无效专利
更新日期:2024-12-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种触摸屏表面防指纹薄膜的制备方法,包括在氩气气氛下,采用磁控溅射在玻璃基材表面形成防指纹薄膜,其中,磁控溅射采用的靶材含有二氧化硅和含氟有机物。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述靶材为二氧化硅和聚四氟乙烯的混合靶材,其中,以硅和氟的摩尔数计,二氧化硅和聚四氟乙烯的摩尔比为0.1-1:1。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述靶材通过如下方法制备得到:将二氧化硅和聚四氟乙烯颗粒混合,然后拌油、熟化,再经过装胚、出胚,并进行烧结成胚,经车削后得到靶材。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射方法为:将真空室抽真-3空至5.0×10 Pa以下,然后充入氩气,直至气压为0.3-2.0Pa,调整偏压为50-500V,占空比为15-90%,以300-3000W的功率溅射为5-25min。

5.根据权利要求1或4所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射为射频磁控溅射,所述磁控溅射在恒定的功率下进行。

6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述氩气的流量为200-500sccm。

7.根据权利要求1、4、6中任意一项所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射时还通入反应气体,所述反应气体为SiF4和/或CF4;所述氩气与反应气体的流量比为1:0.1-1。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在进行所述磁控溅射之前,还包括对玻璃基材进行超声波清洗处理。

9.根据权利要求1、2、3、4、8中任意一项所述的制备方法,其特征在于,在进行所述磁控溅射之前,还包括对玻璃基材进行离子轰击处理;所述离子轰击处理方法为:将玻璃基-2 -2材放置在工件架上,将真空室抽真空至1.0×10 -8.0×10 Pa,充入氩气,至真空室气压为

0.1-5.0Pa,然后在偏压为200-1000V、占空比为20-70%的条件下轰击5-20min。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述在玻璃基材表面形成的防指纹薄膜厚度为10-30nm。