1.一种以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,其特征在于,所述方法为:(1)对不锈钢表面进行喷砂处理,砂子尺寸为50~220目,处理时间为2~20min,喷砂压力为0.05~0.6MPa;
(2)采用磁控溅射在经过步骤(1)处理的不锈钢表面沉积Cr/CrN/CrTiAlN过渡层,操作方法为:①首先,将经过步骤(1)喷砂处理的不锈钢基片放入丙酮中超声清洗20min,再用酒精超声清洗20min,吹干;
②样品工装;
③抽真空至2×10-6Torr;
④采用Ar离子清洗不锈钢基体表面;
⑤依次溅射Cr、CrN、CrTiAlN层,工艺参数设置如下:溅射Cr层时,Cr靶功率4.4kW,沉积时间5~10min;溅射CrN层时,Cr靶功率4.4kW,沉积时间20~40min,氮气与氩气流量比
0.93;溅射CrTiAlN时,Cr靶功率4.4kW、Ti靶功率1~8kW、Al靶功率为1~8kW,沉积时间50~
160min;
(3)采用化学气相沉积方法,在步骤(2)制备的Cr/CrN/CrTiAlN过渡层上沉积金刚石薄膜,操作方法为:一次沉积,工作参数设置为:功率1800~2000W,沉积气压1.6kPa,碳源与氢气流量比
80:200,偏流4A,基片温度700~800℃,生长时间5~20min;
二次沉积,工作参数调整为:功率1500~1600W,沉积气压1.6kPa,碳源与氢气流量比
80:200,偏流4A,基片温度500~700℃,生长时间30~110min。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中,所述不锈钢为奥氏体不锈钢、马氏体不锈钢或铁素体不锈钢。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(3)中,所述碳源采用丙酮。