1.斜抛光纤折射率传感器的制作方法,其特征在于,具体步骤如下:
a)对两片硅片进行清洁,依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗5分钟,然后用氮气吹干;
b)V型光纤槽阵列的制作:首先对其中一片硅片进行双面氧化,单面沉积氮化硅,形成保护层;再制作掩膜板,光刻开窗,选择性去除保护层,形成V型光纤槽阵列图案;接着用KOH溶液进行硅片湿法腐蚀,控制反应时间得到光纤槽所需深度;最后去除氧化硅和氮化硅保护膜;
c)胶体晶体膜的制作:配制 胶体微球溶液,微球直径偏差/平均直径×100 %<0.2%,质量百分比浓度为2%~6%,溶剂为水和乙醇;将另一片干燥好的硅片垂直放置在盛有胶体微球溶液的玻璃瓶中,硅片的端面处于液体中心位置,且与溶液液面保持相互垂直;然后将玻璃瓶置于真空干燥箱中,在一定的温度、湿度和真空度的条件下,采用垂直沉积法在硅片表面涂覆胶体晶体;最后在恒温恒压条件静置48小时左右,再在恒温恒湿条件下干燥;
d)将步骤b)和c)制备好的V型光纤槽阵列和胶体晶体膜粘贴固定;
e)对单模光纤的端面进行45度的抛磨,然后将排好的单模光纤阵列压入与之排布方式对应的V型光纤槽阵列中,单模光纤的45度斜面朝上,且单模光纤的轴线与胶体晶体膜的平面保持平行;然后向V型光纤槽中注入紫外粘结剂,盖上玻璃盖板并将单模光纤压紧在V型光纤槽内,用紫外灯照射使粘结剂固化。
2.根据权利要求1所述斜抛光纤折射率传感器的制作方法,其特征在于,所述步骤e)中,利用磁控溅射镀膜机在抛磨好的单模光纤的45度斜面上镀一层金属薄膜。
3.根据权利要求2所述斜抛光纤折射率传感器的制作方法,其特征在于,所述金属薄膜为银膜,厚度为50nm。
4.根据权利要求1至3之一所述斜抛光纤折射率传感器的制作方法,其特征在于,所述步骤e)完成后,将固定好的单模光纤阵列以等间距的V型光纤槽为基准,切割为相同大小的单个传感部件,并进行封装。