利索能及
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专利号: 2016104699796
申请人: 中国计量大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种氮化铁薄膜的制备方法,其特征在于该方法包括以下步骤:第一步:氧化铁薄膜制备

选择纯铁靶材和干净玻璃衬底;制备过程中,衬底温度为20~600℃;气氛为氧气,氧气流量控制在10~100sccm;沉积时间控制在0.3~3h;

第二步:还原

将氧化铁薄膜取出,置于热处理炉中,以恒定的速率通入氢气,在300~400℃还原4-

20h,以获得铁薄膜;

第三步:氮化

通入氨气,在120~200℃氮化1~30h;氮化过程中施加磁场,诱导氮化铁的取向,磁场强度0.1~2T;降温,随炉冷却至室温,取出样品,即可获得氮化铁薄膜;

所述的磁场由电磁铁或永磁体产生;

所述的永磁体包括钐钴磁体、钕铁硼磁体、铁氧体磁体、铁钴磁体、铝镍钴磁体和铁铂合金磁体。