1.一种氮化铁薄膜的制备方法,其特征在于该方法包括以下步骤:第一步:氧化铁薄膜制备
选择纯铁靶材和干净玻璃衬底;制备过程中,衬底温度为20~600℃;气氛为氧气,氧气流量控制在10~100sccm;沉积时间控制在0.3~3h;
第二步:还原
将氧化铁薄膜取出,置于热处理炉中,以恒定的速率通入氢气,在300~400℃还原4-
20h,以获得铁薄膜;
第三步:氮化
通入氨气,在120~200℃氮化1~30h;氮化过程中施加磁场,诱导氮化铁的取向,磁场强度0.1~2T;降温,随炉冷却至室温,取出样品,即可获得氮化铁薄膜;
所述的磁场由电磁铁或永磁体产生;
所述的永磁体包括钐钴磁体、钕铁硼磁体、铁氧体磁体、铁钴磁体、铝镍钴磁体和铁铂合金磁体。