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专利号: 2024100740828
申请人: 江苏科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种铁电薄膜,其特征在于,化学式为[Ba(0.85‑x)Ca0.15Gdx][Zr0.2Ti0.8]O(3+0.5x),其中x=0.005~0.01。

2.一种权利要求1所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将(CH3COO)2Ba、(CH3COO)2Ca、(CH3COO)3Gd﹒4H2O按摩尔比(0.85‑x):0.15:x溶解在乙酸和乙二醇甲醚混合溶剂中,随后加热搅拌至澄清,得到前驱体溶液A;

(2)将C16H36O4Zr、Ti(OC4H9)4按摩尔比溶解在乙酸和乙二醇甲醚混合溶剂中,并加入乙酰丙酮,随后搅拌得到前驱体溶液B;

(3)将前驱体A溶液缓缓加入前驱体溶液B中,搅拌、静置、陈化,得到前驱体溶液C;

(4)前驱体溶液C经过滤后,旋涂在基片上,然后在加热板上进行干燥预结晶,重复旋涂、干燥,煅烧结晶,得到铁电薄膜。

3.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述乙酰丙酮与前驱体溶液B的体积比为1:4~6。

4.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(3)中,所述前驱体溶液C浓度为0.3~0.4mol/L。

5.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(4)中,所述旋涂过程中,旋涂速度为3500~4000转/分钟,旋涂时间为25~35秒。

6.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(4)中,所述煅烧结晶在氧气气氛下进行。

7.根据权利要求6所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,所述氧气流量为130‑

170ml/min。

8.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(4)中,所述煅烧结晶先以1~3℃/min的升温速率加热至400~450℃保温5~10min,再以8~10℃/min的升温速率加热至700~800℃保温15~45min。

9.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(4)中,所述干燥预结晶的过程中,在加热板上升温至150℃保温5~10min,再升温至400℃保温5~10min。

10.根据权利要求2所述的铁电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(1)中的混合溶剂中乙酸与乙二醇甲醚体积比为2~2.4:1,加热温度为60~70℃;步骤(2)中的混合溶剂中乙酸与乙二醇甲醚体积比为1~1.2:1,搅拌时间为30~60min。