欢迎来到利索能及~ 联系电话:18621327849
利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2021102331013
申请人: 重庆文理学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法,包括基底预处理、前驱液配制和薄膜沉积,其特征在于:所述前驱液制备是以醋酸铁为铁源,溶解在以醇类有机溶剂和胺类有机溶剂形成的混合有机溶剂中,在5 10℃温度下以700 800rpm搅拌3 5h,然后保持温度不变,将搅拌速~ ~ ~

率降至400 500rpm持续搅拌2 7h后静置陈化2 6h得前驱液;所述薄膜沉积是将制备的前驱~ ~ ~

液涂覆在预处理后的基底上,然后将涂覆后的基底置于140 150℃下热处理25 40min。

~ ~

2.如权利要求1所述的一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法,其特征在于:所述醇类有机溶剂可选用乙醇、丙醇、乙二醇或乙二醇甲醚等,所述胺类有机溶剂可选用乙二胺、乙醇胺或异丙醇胺等。

3.如权利要求1或2所述的一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法,其特征在于:所述醋酸铁、醇类有机溶剂和胺类有机溶剂的质量体积比0.1g:1 15mL:0.1 0.3mL。

~ ~

4.如权利要求1‑3任一项所述的一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法,其特征在于:所述涂覆是采用旋涂,旋涂转速为3000rpm,旋涂30s,涂覆厚度为20 30nm。

~

5.如权利要求1‑4任一项所述的一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法,其特征在于:所述基底预处理是将基底置于去离子水中超声10min,用无尘布轻揉除污物,之后置于去离子水中超声10min,然后将基底依次置于丙酮、氯仿、异丙醇各超声10min,最后将基底置于烘箱中烘干备用。

6.一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法,其特征在于,按如下步骤进行:(1)基底预处理:将基底置于去离子水中超声10min,用无尘布轻揉除污物,之后置于去离子水中超声10min,然后将基底依次置于丙酮、氯仿、异丙醇各超声10min,最后将基底置于烘箱中烘干备用;

(2)前驱液配制:以醋酸铁为铁源,溶解在以醇类有机溶剂和胺类有机溶剂形成的混合有机溶剂中,在5 10℃温度下以700 800rpm搅拌3 5h,然后保持温度不变,将搅拌速率降至~ ~ ~

400 500rpm持续搅拌2 7h后静置陈化2 6h,其中醋酸铁、醇类有机溶剂和胺类有机溶剂的~ ~ ~

质量体积比为0.1g:1 15mL:0.1 0.3mL,所述醇类有机溶剂可选用乙醇、丙醇、乙二醇或乙~ ~

二醇甲醚,上述胺类有机溶剂可选用乙二胺、乙醇胺或异丙醇胺;

(3)沉积薄膜:

将步骤(2)配制的前驱液以旋涂的方式涂覆在预处理后的基底上,涂覆厚度为20~

30nm,然后将涂覆了前驱液的基底置于140 150℃下热处理25 40min。

~ ~