利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2016100364755
申请人: 东莞理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-07-25
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种夹层结构透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述透明导电薄膜为BaSnO3/Cu/BaSnO3的夹层结构,即包括依次层叠的BaSnO3薄膜层、Cu薄膜层和BaSnO3薄膜层;

所述的一种夹层结构透明导电薄膜的制备方法,它包括以下步骤:步骤一,将BaSnO3靶材和Cu靶材装入磁控溅射系统的腔体内;

步骤二,将磁控溅射系统的腔体抽至一定的真空度,然后使用氩氧混合气或者氩气作为溅射气体用以溅射BaSnO3靶材,在一定的溅射功率下在衬底上进行沉积得到BaSnO3薄膜层;

步骤三,在一定的溅射功率下在步骤二得到的BaSnO3薄膜层上溅射Cu薄膜层;

步骤四,在一定的溅射功率下在步骤三得到的Cu薄膜层上溅射BaSnO3薄膜层,制得夹层结构透明导电薄膜;

所述步骤二中,所述磁控溅射系统的真空度为0.1×10-3Pa 1.0×10-3Pa;

~

所述步骤二中,所述氩氧混合气中,氧气和氩气的摩尔比为0.1 0.5:1;所述氩氧混合~气或者所述氩气的压强为0.3 Pa 3 Pa;

~

所述步骤二、步骤三和步骤四中,所述溅射功率均为30W 100W;

~

所述BaSnO3靶材和所述Cu靶材分别与所述衬底之间的距离为30mm~100mm。

2.根据权利要求1所述的一种夹层结构透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:每层所述BaSnO3薄膜层的厚度均为10nm~100nm,所述Cu薄膜层的厚度为3nm~20nm。

3.根据权利要求2所述的一种夹层结构透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:每层所述BaSnO3薄膜层的厚度均为30nm~50nm,所述Cu薄膜层的厚度为8nm~11nm。

4.根据权利要求1所述的一种夹层结构透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤一中,所述BaSnO3靶材和所述Cu靶材的纯度均为99.99%。

5.根据权利要求1所述的一种夹层结构透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤二中,所述衬底为玻璃衬底、石英衬底或蓝宝石衬底。