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专利号: 2015105018330
申请人: 陕西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种透明导电薄膜,其特征在于,包括基底,在基底上沉积的透明导电薄膜,以及沉积在导电薄膜之间的缓冲层薄膜;所述的缓冲层薄膜至少沉积有一层。

2.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜,其特征在于,每层缓冲层薄膜的厚度不大于100纳米。

3.根据权利要求2所述的一种透明导电薄膜,其特征在于,每层缓冲层薄膜的厚度为

0~30纳米。

4.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜,其特征在于,每层缓冲层薄膜的材料采用纳米金属薄膜、纳米金属网和纳米金属线中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜,其特征在于,每层透明导电薄膜层的厚度为10~2000纳米。

6.根据权利要求1所述的一种透明导电薄膜,其特征在于,还包括沉积在基地和透明导电薄膜层之间的预制层。

7.一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤,步骤1,在经过预处理的基底上沉积第一层透明导电薄膜层;

步骤2,然后沉积一层厚度不超过100纳米的缓冲层薄膜;

步骤3,在缓冲层薄膜上沉积一层透明导电薄膜层;

步骤4,重复步骤2和3达到需要的缓冲层薄膜层数,制备得到透明导电薄膜。

8.根据权利要求7所述的一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中沉淀第一层透明导电薄膜层时的温度为200-500℃;步骤2中沉积缓冲层薄膜和步骤3中沉积其余透明导电薄膜层时的温度为20-300℃。

9.根据权利要求7所述的一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,所述的基底采用刚性基底或柔性基底。

10.根据权利要求7或9所述的一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,透明导电薄膜层采用掺杂的氧化铟、掺杂的氧化锡、掺杂的氧化锌、碳纳米管薄膜、石墨烯薄膜中的一种或多种的混合物,或者金属合金薄膜。

11.根据权利要求7或9所述的一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,缓冲层薄膜采用导电性能高于透明导电薄膜层的金属、氧化物或合金中的一种。

12.根据权利要求7所述的一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中,预处理包括对基地的表面处理,并且步骤1中还包括在基底上沉积预制层的步骤,在预制层上沉积第一层透明导电薄膜层。

13.根据权利要求12所述的一种透明导电薄膜的制备方法,其特征在于,表面处理采用等离子体表面处理,气氛为氢气、氮气、氦气、氖气、氩气或混合气体。