本发明公开了一种OLED基板蒸镀设备,涉及显示器部件制造技术领域,包括蒸发源,与蒸镀机内壁固定连接的支撑框架,支撑框架上安装有掩膜板,掩膜板上设置有基板本体;掩膜板周边以及中心区域均固定安装有连接套筒,并在连接套筒内部设置有支撑脚,并在支撑脚内部安装有安装轴体,其中安装轴体内部设置有吸盘单元,安装轴体一端安装有圆形盘架,连接套筒底部固定安装有电性磁板,且圆形盘架靠近电性磁板的表面为磁性面,此OLED基板蒸镀设备,通过电性磁板与圆形盘架磁性面之间的磁性关系,使得圆形盘架控制安装轴体和其内部的吸盘单元进行位置调整,从而控制基板本体进行相应的位置调整,以实现自动调整基板本体与掩膜板之间距离的目的。