利索能及
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专利号: 2025215680919
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2026-07-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,包括:

支架,连接于驱动设备上;

光源,设于支架上;

测距机构,设于支架上;

拍摄机构,设于支架上;

其中,所述光源照射晶棒端面,所述测距机构测量拍摄机构与晶棒端面的间距,所述拍摄机构对晶棒端面拍照。

2.根据权利要求1所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述光源包括设于支架上的面光源,所述测距机构、拍摄机构设于所述面光源背部的支架上,所述面光源上设有位置分别与测距机构、拍摄机构对应的测距孔、拍摄孔。

3.根据权利要求1所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述光源包括设于支架上的条形光源,所述条形光源与支架间转动连接。

4.根据权利要求3所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述条形光源与支架间设有角度调节组件,所述角度调节组件包括设于条形光源上的结构柱,所述结构柱两端分别转动连接有转板,所述转板固定连接于支架上。

5.根据权利要求1所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述测距机构包括设于支架上的测距架,所述测距架上设有测距传感器。

6.根据权利要求1所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述拍摄机构包括设于支架上的相机架,所述相机架上设有面阵相机,所述面阵相机上设有镜头。

7.根据权利要求1 6任意一项所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述支架包~括两平行设置的纵梁,两所述纵梁间连接有平行设置的多个横梁,所述测距机构和拍摄机构连接于所述横梁上。

8.根据权利要求7所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述横梁上连接有固定板,通过所述固定板使支架与驱动设备连接,所述固定板垂直于横梁,所述固定板侧部与横梁间连接有三角形的斜撑架。

9.根据权利要求7所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述横梁与纵梁垂直,处于上下两侧的两个所述横梁与两纵梁围合呈矩形的框体。

10.根据权利要求9所述的晶棒端面缺陷检测装置,其特征在于,所述框体的四个角处设有L型加强块,所述加强块在框体的角处分别与对应位置的横梁和纵梁内壁连接。