1.一种晶圆缺陷检测装置，包括装置箱（1），其特征在于，还包括：

顶板（2），固定连接在所述装置箱（1）的上端，

其中，所述顶板（2）的下端固定安装有主检测头（3），所述顶板（2）的下端安装有位于主检测头（3）两侧的副检测头（4），所述副检测头（4）不与主检测头（3）平行；

转动安装在所述装置箱（1）上的检测台（5），

其中，所述主检测头（3）垂直于检测台（5）的上端，所述装置箱（1）内设有驱动检测台（5）旋转的驱动部；

所述驱动部包括固定连接在检测台（5）下端的支撑柱（7），所述装置箱（1）内转动连接有套管（9），所述支撑柱（7）的下端固定连接有插杆（8），其中，所述插杆（8）纵向滑动连接在套管（9）内，所述装置箱（1）内固定安装有电机（10），所述电机（10）的输出轴固定安装有主动齿轮（11），所述套管（9）的外壁固定安装有与主动齿轮（11）啮合连接的从动齿轮（12），所述装置箱（1）上设有驱动检测台（5）上下移动的升降部；

所述升降部包括转动连接在装置箱（1）上端的螺纹杆（13），所述螺纹杆（13）上螺纹连接有升降块（14），所述升降块（14）上固定连接有升降板（6），其中，所述支撑柱（7）转动连接在升降板（6）上，所述螺纹杆（13）与套管（9）之间通过链传动（15）连接；

所述检测台（5）上设有圆周分布的多个滑槽（21），多个所述滑槽（21）内均滑动安装有滑块（23），多个所述滑块（23）上均转动安装有滚轴（24），所述检测台（5）上设有驱动多个滑块（23）向检测台（5）中心靠近的定位部；

所述检测台（5）的上端中部固定安装有吸盘（31），所述检测台（5）上固定连接有环绕吸盘（31）的橡胶座（34），其中，所述滑块（23）与滑槽（21）的内壁之间安装有伸缩气囊（32），所述伸缩气囊（32）上固定连接有延伸至吸盘（31）内的连接管（33）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述顶板（2）上固定连接有支座（16），所述支座（16）上转动安装有转轴（17），所述副检测头（4）固定安装在转轴（17）上，所述顶板（2）上设有驱动转轴（17）转动的偏转部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述偏转部包括固定安装在转轴（17）上的主卷筒（18），所述螺纹杆（13）上固定安装有副卷筒（19），其中，所述主卷筒（18）的外壁上固定缠绕有拉绳（20），所述拉绳（20）的末端固定连接在副卷筒（19）上，所述转轴（17）与支座（16）之间安装有扭簧。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述定位部包括转动连接在多个滑槽（21）内的往复丝杠（22），所述往复丝杠（22）的一端延伸至检测台（5）的外壁并固定安装有被动齿轮（25），其中，所述滑块（23）螺纹连接在往复丝杠（22）的外壁上，所述装置箱（1）上安装有与被动齿轮（25）啮合连接的弧形齿条（26）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述装置箱（1）上固定连接有环形座（27），所述环形座（27）上固定连接有滑柱（28），所述滑柱（28）上纵向滑动安装有外管（29）；

其中，所述弧形齿条（26）固定安装在外管（29）上，所述弧形齿条（26）与环形座（27）之间安装有顶升弹簧（30），所述升降板（6）上设有与弧形齿条（26）对应的弧形槽（35）。

6.一种晶圆缺陷检测装置的方法，包括权利要求1‑5任一项所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，操作步骤如下：步骤一：将晶圆放置于检测台（5）上，并使晶圆处于检测台（5）的正中部；

步骤二：通过主检测头（3）以及倾斜的副检测头（4）对晶圆进行缺陷检测；

步骤三：使检测台（5）带动晶圆转动，以改变晶圆与副检测头（4）之间的位置；

步骤四：在晶圆转动期间，使晶圆靠近主检测头（3）与副检测头（4）；

步骤五：在晶圆转动期间，使副检测头（4）改变照射检测角度。