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专利号: 2023232970557
申请人: 合肥世纪金芯半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,包括:检测盒(100)、盒门(300)、控制器(600)以及光学显微镜,所述检测盒(100)正面安装有两个盒门(300),所述检测盒(100)上方设置有光学显微镜,右侧所述盒门(300)正面右侧安装有控制器(600),其特征在于:所述检测盒(100)上表面中间贯通开设有检测口(200);

所述检测盒(100)内部左侧安装有固定轴承(900),所述固定轴承(900)右侧设置有左推杆(110),所述检测盒(100)内部右侧安装有旋转板(130),所述旋转板(130)左侧安装有右推杆(140),所述左推杆(110)右侧以及右推杆(140)左侧分别连接有一个固定夹板(120);

所述检测盒(100)右侧面上方安装有调节电机(700),所述检测盒(100)内部下方中间安装有测温探头(150),所述检测盒(100)内部四周安装有铜制导热层(170),所述铜制导热层(170)外侧安装有加热层(160)。

2.如权利要求1所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,其特征在于:两个所述盒门(300)中间分别安装有一个把手(400),左侧所述盒门(300)正面中间安装有温度显示器(500)。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,其特征在于:所述测温探头(150)与温度显示器(500)和控制器(600)连接,所述控制器(600)与加热层(160)连接,所述加热层(160)由多根绝缘电热丝组合构成。

4.如权利要求3所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,其特征在于:两个所述固定夹板(120)右视面均为一种圆形结构,且直径长度,左侧所述固定夹板(120)右侧面以及右侧固定夹板(120)左侧面分别安装有一个防滑软垫。

5.如权利要求4所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,其特征在于:所述左推杆(110)左侧通过转动杆与固定轴承(900)内侧连接,所述调节电机(700)通过传动轴与旋转板(130)右侧面连接。

6.如权利要求1所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,其特征在于:所述左推杆(110)与右推杆(140)均为一种电动推杆,所述检测口(200)下方安装有照明灯条(800),所述控制器(600)内提前输入与温度监测阈值。

7.如权利要求1所述的一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,其特征在于:两个所述盒门(300)分别通过铰链与检测盒(100)连接,所述调节电机(700)为一种伺服电机。