1.一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，包括上、下双层结构，其中上层为以硅为材料构建的微机械敏感元件，下层为由二氧化硅材料加工的玻璃基座，所述玻璃基座用于提供机械支撑和电学隔离功能。

2.根据权利要求1所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述微机械敏感元件包括第一受力承载基体（1）、第二受力承载基体（2）、占位基体（3）、第一谐振器（4‑1）、第二谐振器（4‑2）、第三谐振器（4‑3）、第四谐振器（4‑4）、Y轴力放大杠杆（5‑1）、X轴力放大杠杆（5‑2）、第一Z轴抑制结构（6‑1）、第二Z轴抑制结构（6‑2）、第三Z轴抑制结构（6‑3）、第四Z轴抑制结构（6‑4）、第一限制运动结构（7‑1）、第二限制运动结构（7‑2）、第三限制运动结构（7‑3）、第四限制运动结构（7‑4）、第一耦合直角连接结构（8‑1）、第二耦合直角连接结构（8‑2）、第三耦合直角连接结构（8‑3）和第四耦合直角连接结构（8‑4）；

其中所述第一谐振器（4‑1）安装于第一受力承载基体（1）的上侧，第二谐振器（4‑2）设置于第一受力承载基体（1）的右侧，第一谐振器（4‑1）和第二谐振器（4‑2）相互之间呈90°夹角设置；

所述第三谐振器（4‑3）位于第一受力承载基体（1）下方，与第一谐振器（4‑1）形成180°分布关系；

所述第四谐振器（4‑4）设置于第一受力承载基体（1）上部，与第二谐振器（4‑2）形成

180°夹角设置。

3.根据权利要求2所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述第一谐振器（4‑1）、第二谐振器（4‑2）、第三谐振器（4‑3），第四谐振器（4‑4）的一端通过公共锚点（2‑5）实现刚性连接，第一谐振器（4‑1）另一端与Y轴力放大杠杆（5‑1）连接，第二谐振器（4‑2）另一端与X轴力放大杠杆（5‑2）连接，第三谐振器（4‑3）另一端与第三谐振器锚点（4‑3‑8）连接，第四谐振器（4‑4）与第四谐振器锚点（4‑4‑14）。

4.根据权利要求3所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述Y轴力放大杠杆（5‑1）位于第一受力承载基体（1）上侧，所述X轴力放大杠杆（5‑2）位于第一受力承载基体（1）右侧。

5.根据权利要求4所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述第一Z轴抑制结构（6‑1）、第二Z轴抑制结构（6‑2）、第三Z轴抑制结构（6‑3）、第四Z轴抑制结构（6‑4）分别对称设置在第一受力承载基体（1）的左上、右上、右下、左下侧；

所述第一限制运动结构（7‑1）、第二限制运动结构（7‑2）、第三限制运动结构（7‑3）、第四限制运动结构（7‑4）分别位于第二受力承载基体（2）的左上、右上、右下、左下侧。

6.根据权利要求5所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述Y轴力放大杠杆（5‑1）上设有第一Y轴力输出直梁（5‑1‑2）和第一Y轴力输入直梁（5‑

1‑4）；

所述X轴力放大杠杆（5‑2）上设有第一X轴力输出直梁（5‑2‑2）和第一X轴力输入直梁（5‑2‑4）；

所述第一谐振器（4‑1）与第一Y轴力输出直梁（5‑1‑2）相连接，所述第二谐振器（4‑2）与第一X轴力输出直梁（5‑2‑2）相连接；

所述第一Y轴力输入直梁（5‑1‑4）和第一X轴力输入直梁（5‑2‑4）分别与第一受力承载基体（1）左上侧和右下侧区域实现连接。

7.根据权利要求6所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述第一Z轴抑制结构（6‑1）上设置有第一折叠梁（6‑1‑2）、第二折叠梁（6‑1‑3）；

所述第二Z轴抑制结构（6‑2）上设置有第三折叠梁（6‑2‑2）、第四折叠梁（6‑2‑3）；

所述第三Z轴抑制结构（6‑3）上设置有第五折叠梁（6‑3‑2）、第六折叠梁（6‑3‑3）；

所述第四Z轴抑制结构（6‑4）上设置有第七折叠梁（6‑4‑2）、第八折叠梁（6‑4‑3）；

所述第一折叠梁（6‑1‑2）、第二折叠梁（6‑1‑3）、第三折叠梁（6‑2‑2）、第四折叠梁（6‑2‑

3）、第五折叠梁（6‑3‑2）、第六折叠梁（6‑3‑3）、第七折叠梁（6‑4‑2）和第八折叠梁（6‑4‑3）均与第一受力承载基体（1）相连接。

8.根据权利要求7所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述第一限制运动结构（7‑1）上设置有第一钩形折叠梁（7‑1‑2），第二限制运动结构（7‑

2）上设置有第二钩形折叠梁（7‑2‑2），第三限制运动结构（7‑3）上设置有第三钩形折叠梁（7‑3‑2），第四限制运动结构（7‑4）上设置有第四钩形折叠梁（7‑4‑2）；

所述第一钩形折叠梁（7‑1‑2）、第二钩形折叠梁（7‑2‑2）、第三钩形折叠梁（7‑3‑2）和第四钩形折叠梁（7‑4‑2）均与第二受力承载基体（2）相连接。

9.根据权利要求8所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述第一谐振器（4‑1）包括第一单端固定谐振梁（4‑1‑1）；所述第二谐振器（4‑2）包括第二单端固定谐振梁（4‑2‑1）；所述第三谐振器（4‑3）包括第三双端固定谐振梁（4‑3‑1）；

所述第一耦合直角连接结构（8‑1）一端与第一单端固定谐振梁（4‑1‑1）相连，另一端与第四双端固定谐振梁（4‑4‑1）相连接；

所述第二耦合直角连接结构（8‑2）用于连接第一单端固定谐振梁（4‑1‑1）和第二单端固定谐振梁（4‑2‑1）；

所述第三耦合直角连接结构（8‑3）分别连接第二单端固定谐振梁（4‑2‑1）与第三双端固定谐振梁（4‑3‑1）；

所述第四耦合直角连接结构（8‑4）分别连接第三双端固定谐振梁（4‑3‑1）与第四双端固定谐振梁（4‑4‑1）。

10.根据权利要求9所述的一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，所述第一谐振器（4‑1）与第二谐振器（4‑2）的结构相同，所述第一谐振器（4‑1）包括第一单端固定谐振梁（4‑1‑1），第一驱动信号施加结构（4‑1‑2）、第二驱动信号施加结构（4‑1‑

3）、第三驱动信号施加结构（4‑1‑4）、第四驱动信号施加结构（4‑1‑5），第一信号检测结构（4‑1‑6）和第二信号检测结构（4‑1‑7）；

所述第一驱动信号施加结构（4‑1‑2）、第二驱动信号施加结构（4‑1‑3）、第三驱动信号施加结构（4‑1‑4）、第四驱动信号施加结构（4‑1‑5）对称设置在第一单端固定谐振梁（4‑1‑

1）的梳齿内侧，采用与梳齿对插的方式构成驱动电容极板组；

所述第一信号检测结构（4‑1‑6）和第二信号检测结构（4‑1‑7）对称分布在第一单端固定谐振梁（4‑1‑1）的梳齿外侧，与第一单端固定谐振梁（4‑1‑1）的梳齿以对插方式形成检测电容极板组；

所述第三谐振器（4‑3）包括第三谐振器锚点（4‑3‑8），第三双端固定谐振梁（4‑3‑1），第九驱动信号施加结构（4‑3‑2）、第十驱动信号施加结构（4‑3‑3）、第十一驱动信号施加结构（4‑3‑4）、第十二驱动信号施加结构（4‑3‑5）、第五信号检测结构（4‑3‑6）、第六信号检测结构（4‑3‑7）；

所述第九驱动信号施加结构（4‑3‑2）、第十驱动信号施加结构（4‑3‑3）、第十一驱动信号施加结构（4‑3‑4）、第十二驱动信号施加结构（4‑3‑5）对称设置在第三双端固定谐振梁（4‑3‑1）的梳齿内侧，采用与梳齿对插的方式构成驱动电容极板组；

所述第五信号检测结构（4‑3‑6）、第六信号检测结构（4‑3‑7）对称分布在第三双端固定谐振梁（4‑3‑1）的梳齿外侧，第三双端固定谐振梁（4‑3‑1）的梳齿以对插方式形成检测电容极板组；

所述第四谐振器（4‑4）包括第四谐振器锚点（4‑4‑14）、第四双端固定谐振梁（4‑4‑1）、第十三驱动信号施加结构（4‑4‑2）、第十四驱动信号施加结构（4‑4‑3）、第十五驱动信号施加结构（4‑4‑4）、第十六驱动信号施加结构（4‑4‑5）、第七信号检测结构（4‑4‑6）、第八信号检测结构（4‑4‑7）、第九信号检测结构（4‑4‑8）、第十信号检测结构（4‑4‑9）、第一电容板（4‑

4‑10）、第二电容板（4‑4‑11）、第三电容板（4‑4‑12）和第四电容板（4‑4‑13）；

所述第十三驱动信号施加结构（4‑4‑2）、第十四驱动信号施加结构（4‑4‑3）、第十五驱动信号施加结构（4‑4‑4）、第十六驱动信号施加结构（4‑4‑5）对称设置在第四双端固定谐振梁（4‑4‑1）的梳齿内侧，采用与梳齿对插的方式构成驱动电容极板组；

所述第七信号检测结构（4‑4‑6）、第八信号检测结构（4‑4‑7）、第九信号检测结构（4‑4‑

8）、第十信号检测结构（4‑4‑9）对称分布在第四双端固定谐振梁（4‑4‑1）的梳齿外侧，与第四双端固定谐振梁（4‑4‑1）的梳齿以对插方式形成检测电容极板组；

第四谐振器（4‑4）两侧对称分布有两组电容板，其中一组包括第一电容板（4‑4‑10）和第三电容板（4‑4‑12），另一组包括第二电容板（4‑4‑11）和第四电容板（4‑4‑13），两组电容板均与第二受力承载基体（2）连接；

所述Y轴力放大杠杆（5‑1）与X轴力放大杠杆（5‑2）的结构相同；所述Y轴力放大杠杆（5‑

1）包括第一支撑锚点（5‑1‑1）、第一Y轴力输出直梁（5‑1‑2）、第一杠杆（5‑1‑3）和第一Y轴力输入直梁（5‑1‑4）；

所述第一支撑锚点（5‑1‑1）用于提供固定支撑，并与第一杠杆（5‑1‑3）在结构上直接连接，构成杠杆支点；

所述第一Y轴力输出直梁（5‑1‑2）设置在第一杠杆（5‑1‑3）靠近第一支撑锚点（5‑1‑1）的一侧；

所述第一Y轴力输入直梁（5‑1‑4）设置于第一杠杆（5‑1‑3）远离第一支撑锚点（5‑1‑1）的一端；

所述第一X轴力输出直梁（5‑2‑2）设置在第二杠杆（5‑2‑3）靠近第二支撑锚点（5‑2‑1）的一侧；

所述第一X轴力输入直梁（5‑2‑4）设置于第二杠杆（5‑2‑3）远离第二支撑锚点（5‑2‑1）的一端；

所述第一Z轴抑制结构（6‑1）、第二Z轴抑制结构（6‑2）、第三Z轴抑制结构（6‑3）、第四Z轴抑制结构（6‑4）结构相同；

所述第一限制运动结构（7‑1）、第二限制运动结构（7‑2）、第三限制运动结构（7‑3）、第四限制运动结构（7‑4）结构相同；

所述第一Z轴抑制结构（6‑1）包括第一固定锚点（6‑1‑1）、第一折叠梁（6‑1‑2）和第二折叠梁（6‑1‑3）；其中所述第一固定锚点（6‑1‑1）同一平面内呈90°分别与第一折叠梁（6‑1‑2）和第二折叠梁（6‑1‑3）相连接；

所述第一限制运动结构（7‑1）包括第一限制固定锚点（7‑1‑1）和第一钩形折叠梁（7‑1‑

2）。