1.一种基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计,其特征在于:所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计由双股叉型谐振梁(1)、激励电阻(2)、压敏电阻(3)、蟹腿型支撑梁(4)、质量块(5)、框架(6)、金属内引线(7)组成;双股叉型谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(4)位于质量块(5)和框架(6)之间的“口”字型腐蚀槽(8)内,一端固支在质量块(5)的侧面,另一端固支在框架(6)内壁;双股叉型谐振梁(1)位于传感器芯片上表面,在其中部制作激励电阻(2),在靠近衬底的2个叉齿上制作压敏电阻(3);质量块(5)的重心位于蟹腿型支撑梁(4)的中性面内,用于检测平行于芯片表面的加速度信号。
2.根据权利要求1所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计,其特征在于:在激励电阻(2)上通过交流电,产生交变的温度场和弯矩,使双股叉型谐振梁(1)发生振动,叉齿上的压敏电阻(3)检测双股叉型谐振梁(1)的振动信号;在平行于芯片表面的加速度作用下,双股叉型谐振梁(1)的轴向应力变化,从而改变其谐振频率,通过检测谐振频率的变化就可以得到加速度的大小和方向。
3.根据权利要求1所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计结构,其特征在于:在面内加速度作用下双股叉型谐振梁(1)的叉齿发生的结构变形,相对于双端固支直梁谐振器具有更大的检测灵敏度。