1.一种晶圆切割环清洗装置,包括放置平台和清洗组件,其特征在于,清洗组件包括驱动机构,往复杆,支架,滑动部,管路和清洗机构,滑动部与往复杆连接,滑动部设置在支架的导轨上,两条导轨沿放置平台长度方向设置,往复杆与驱动机构连接,往复杆与导轨平行设置,驱动机构带动往复杆往复运动,所述清洗机构与滑动部连接,清洗机构包括清洗部,连接杆和支撑杆,连接杆一端与清洗部连接,另一端与往复杆连接,清洗部朝向放置平台,清洗部与管路连通,清洗液通过管路向清洗部输送,支撑杆穿过连接杆,支撑杆两端与两个滑动部连接。
2.根据权利要求1所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述驱动机构包括电机,驱动齿轮和传动齿轮,所述电机与驱动齿轮连接,传动齿轮与驱动齿轮啮合,传动齿轮的转轴设置在支架上,传动齿轮和驱动齿轮垂直设置,往复杆与传动齿轮偏心连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述滑动部设有卡槽,所述支撑杆设置在卡槽中。
4.根据权利要求1所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述连接杆包括固定杆和调节杆,调节杆插设在固定杆中且通过锁紧组件锁紧。
5.根据权利要求4所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述调节杆下端设有连接座,连接座与清洗部螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述连接座与清洗部之间具有弹簧,弹簧设置在连接座的容纳腔内,弹簧抵压调节杆和清洗部。
7.根据权利要求6所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述清洗部包括清洁刷,清洁刷与连接座连接。
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的晶圆切割环清洗装置,其特征在于,所述清洗组件有两组,两组清洗组件上下相对设置。