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专利号: 2021217658150
申请人: 深圳市栗橡科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.晶圆清洗阀门装置,包括阀门外壳(1),其特征在于:所述阀门外壳(1)的顶部焊接有固定块(5),所述固定块(5)的顶部焊接有支撑连板(6),所述支撑连板(6)的顶部固定连接有机罩外壳(20),所述机罩外壳(20)的内部固定安装有驱动电机(19),所述驱动电机(19)的输出端固定连接有轴杆(21),所述轴杆(21)远离驱动电机(19)的一端固定连接有转动弧形块(16),所述转动弧形块(16)的外表面贴合有槽轮(14),所述槽轮(14)的内部开设有四个U型槽(15),所述转动弧形块(16)的外表面焊接有连接条(17),所述连接条(17)的顶部焊接有焊接凸块(18),四个所述U型槽(15)的内表面均与焊接凸块(18)的外表面相适配。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗阀门装置,其特征在于:所述阀门外壳(1)的内部开设有贯穿圆孔(2),所述贯穿圆孔(2)的内表面固定卡接有清洗液管道(3)。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗阀门装置,其特征在于:所述清洗液管道(3)的外表面固定贯穿有两个密封座(8),所述清洗液管道(3)的右侧固定连接有喷液口(4)。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗阀门装置,其特征在于:两个所述密封座(8)的相对一侧之间活动连接有转动球体(9),所述转动球体(9)的内部开设有连通孔(10),所述连通孔(10)的外表面与清洗液管道(3)的内表面相适配。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗阀门装置,其特征在于:所述转动球体(9)的顶部焊接有转动阀杆(11),所述转动阀杆(11)的外表面固定连接有套块(13),所述套块(13)的外表面与槽轮(14)的内表面固定相焊接。

6.根据权利要求5所述的晶圆清洗阀门装置,其特征在于:所述转动阀杆(11)的外表面活动套设有密封卡块(12),所述转动阀杆(11)的外表面活动连接有支架(7),所述支架(7)的底部与支撑连板(6)的顶部相焊接。