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专利号: 202122433827X
申请人: 苏州八术激光技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆切割清洗一体机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)一侧顶部通过铰链连接有切割机(2),所述机体(1)顶部一侧开设有切割腔(3),所述切割腔(3)内设有切割台(4),所述切割腔(3)一侧表面贯穿设有清理管道(5),所述机体(1)后侧固定连接有安装座(6),所述安装座(6)顶部固定连接有夹持机械手(7),所述机体(1)顶部另一侧开设有清洗腔(8),所述清洗腔(8)内设有放置花篮(9),所述清洗腔(8)前侧贯穿设有多功能清洗机构(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗一体机,其特征在于:所述夹持机械手(7)包括机械臂(11),所述机械臂(11)顶端固定连接有夹持座(12),所述夹持座(12)顶部固定连接有夹趾(13),所述夹趾(13)内侧设有硅胶垫片(14)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗一体机,其特征在于:所述安装座(6)固定连接于机体(1)后侧中部,所述安装座(6)与夹持机械手(7)结构相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗一体机,其特征在于:所述切割腔(3)与切割台(4)均为圆形结构,所述切割腔(3)内壁与切割台(4)之间留有间距。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗一体机,其特征在于:所述多功能清洗机构(10)包括加热水箱(15),所述加热水箱(15)顶部设有加注口(16),所述加热水箱(15)后侧通过水管连接有雾化喷淋头(17)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割清洗一体机,其特征在于:所述机体(1)前侧表面分别开设有与多功能清洗机构(10)、清理管道(5)结构相匹配的孔,所述机体(1)底部四角固定连接有支撑腿(18)。