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专利号: 202421985809X
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-05-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种便于上料的半导体热板光刻设备,包括光刻机(1),所述光刻机(1)的内部安装有换料台(2),所述换料台(2)的表面固定连接有换料盒(3),所述换料盒(3)有四个且均匀的分布在换料台(2)的表面,其特征在于:驱动机构,驱动机构包括传动电机(4),所述传动电机(4)的背面固定连接有固定板(5),所述固定板(5)的底部固定连接有固定圈(29),所述固定圈(29)的内壁滑动连接有齿圈(6),所述齿圈(6)的表面啮合有主动齿轮(7),所述主动齿轮(7)的顶部与传动电机(4)的底部输出端固定连接,所述固定圈(29)的内壁固定连接有固定筒(8),所述固定筒(8)的顶部与换料台(2)的底部固定连接,所述固定筒(8)的底部固定连接有连接圈(9),所述连接圈(9)的底部与光刻机(1)内壁的底部活动连接;

传动机构,传动机构包括传动齿轮(10),所述传动齿轮(10)有四个且均匀的分布在齿圈(6)的表面,所述传动齿轮(10)的内侧与齿圈(6)的表面相互啮合,所述传动齿轮(10)的内壁固定连接有连接杆(11),所述连接杆(11)的底部通过轴承座与连接圈(9)的顶部活动连接,所述连接杆(11)的顶部固定连接有锥齿轮一(12),所述锥齿轮一(12)的顶部啮合有锥齿轮二(13),所述锥齿轮二(13)的内壁固定连接有圆杆(14),所述圆杆(14)的外侧通过轴承活动连接有支撑板(15),所述支撑板(15)的底部与连接圈(9)的顶部固定连接,所述支撑板(15)的内侧设置有传动轮一(16),所述传动轮一(16)的表面活动连接有传动带(17),所述传动带(17)的内壁活动连接有传动轮二(18),所述传动轮二(18)的内壁固定连接有连接筒(19),所述连接筒(19)的表面与支撑板(15)的内壁活动连接,所述连接筒(19)的内壁滑动连接有滑动块(20),所述滑动块(20)的内侧固定连接有螺杆(21),所述螺杆(21)的内侧贯穿至换料盒(3)的内部且固定连接有压板(22),所述螺杆(21)的表面与换料盒(3)的内壁螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种便于上料的半导体热板光刻设备,其特征在于:所述压板(22)的外侧固定连接有滑动杆(23),所述滑动杆(23)的外侧贯穿至换料盒(3)的外侧,所述滑动杆(23)的表面与换料盒(3)的内壁滑动连接,所述滑动杆(23)的表面滑动连接有限位框(24),所述限位框(24)的内侧与换料盒(3)的表面固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种便于上料的半导体热板光刻设备,其特征在于:所述滑动杆(23)的表面固定连接有限位圈(25),所述限位圈(25)与滑动杆(23)配合使用。

4.根据权利要求1所述的一种便于上料的半导体热板光刻设备,其特征在于:所述支撑板(15)的表面固定连接有加固块(26),所述加固块(26)有多个且均匀的分布在支撑板(15)的表面,所述加固块(26)的底部与连接圈(9)的顶部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种便于上料的半导体热板光刻设备,其特征在于:所述压板(22)的内侧固定连接有隔垫(27),所述隔垫(27)具有弹性和防滑能力。

6.根据权利要求1所述的一种便于上料的半导体热板光刻设备,其特征在于:所述支撑板(15)的顶部设置有弧角(28),所述弧角(28)与支撑板(15)配合使用。