1.一种晶圆移动夹持装置，用于夹持扩膜设备上的晶圆拉环，其特征在于，包括：

安装板；

夹持机构，包括夹持臂，所述夹持臂的第一端可移动的连接在安装板上，所述夹持臂的第二端设有第一夹爪和第二夹爪；

夹爪轴，所述夹爪轴沿所述夹持臂的长度方向延伸，与第一夹爪或者第二夹爪连接，驱动第一夹爪或第二夹爪远离或者靠近第二夹爪或第一夹爪；

叉臂，所述叉臂与所述夹爪轴连接，所述叉臂设有沿预设方向延伸的凸轮槽，所述凸轮槽内设有凸轮，所述凸轮连接有销轴，所述销轴由第一气缸驱动转动，带动所述凸轮在凸轮槽内转动，所述叉臂响应于凸轮的转动进行摆动，当叉臂摆动时，第一夹爪和第二夹爪靠近或分离。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述叉臂设置在所述安装板和所述夹持臂之间，所述叉臂第一端与所述夹爪轴固定连接，所述叉臂第二端与所述凸轮可摆动的连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述凸轮槽设置在所述叉臂的第二端，沿所述叉臂的长度方向延伸形成。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述夹持臂包括第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂与所述安装板平行设置，所述第二夹持臂与所述安装板垂直设置，所述第二夹持臂第一端与所述第一夹持臂连接形成L型结构，第二夹持臂的第二端与所述第一夹爪和第二夹爪连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述第一气缸设置在所述第一夹持臂上方，所述第一气缸与所述销轴连接，驱动所述销轴转动。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述夹持臂的第二端设有固定座，所述固定座上设有第一传感器和第二传感器，所述第一传感器设置在所述第二传感器的上方，所述第一传感器和所述第二传感器之间具有预设高度。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述安装板的一侧安装有电机，所述安装板背对电机的一侧设有同步带和滑轨，所述同步带和滑轨设置在不同的高度上，所述同步带和所述滑轨之间连接有滑块。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述滑块背对所述安装板的一侧设有第二气缸，所述夹持机构设置在所述第二气缸的上方，所述第二气缸为升降气缸，带动所述夹持机构沿所述滑块运动。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述安装板背对所述电机的一侧设有第一惰轮和第二惰轮，所述第一惰轮与所述电机连接，所述第一惰轮和所述第二惰轮分开设置在所述安装板的两端，所述同步带通过所述第一惰轮和所述第二惰轮转动。

10.根据权利要求7所述的一种晶圆移动夹持装置，其特征在于，所述安装板上背对所述电机的一侧设有光电传感器，所述滑块上与所述安装板相对的一侧设有遮光片。