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专利号: 2021222452482
申请人: 苏州八术激光技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆切片机用夹持机构,包括切片机箱(1),其特征在于:所述切片机箱(1)的顶端面内侧固定连接有激光切割机(2),所述切片机箱(1)的底端面内侧固定连接有固定底座(3),所述固定底座(3)的内侧设有切割底座(4),所述固定底座(3)的内侧固定连接有限位环(5),所述固定底座(3)的底端面内侧固定连接有呈左右对称设置的缓冲弹簧(6),且所述缓冲弹簧(6)的另一端固定连接于切割底座(4)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片机用夹持机构,其特征在于:所述切片机箱(1)的顶端面内侧固定连接有呈激光切割机(2)左右对称设置的夹持推杆(7),所述夹持推杆(7)的另一端固定连接有连接件(8),所述连接件(8)的另一端固定连接有夹持环(9)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片机用夹持机构,其特征在于:所述夹持环(9)的一侧固定连接有调节推杆(10),所述调节推杆(10)的一端贯穿夹持环(9)固定连接有夹持板(11),所述夹持板(11)的另一侧固定连接有防护垫(12)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机用夹持机构,其特征在于:所述夹持板(11)与防护垫(12)均呈弧形设置,且所述防护垫(12)是由防静电材质制作而成的。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆切片机用夹持机构,其特征在于:所述夹持环(9)的内侧开设有安装槽(13),所述安装槽(13)的内侧设有连接轴(14),所述连接轴(14)的外侧转动连接有限位板(15)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片机用夹持机构,其特征在于:所述安装槽(13)的内侧设有限位弹簧(16),所述限位弹簧(16)的一端固定连接于限位板(15),且所述限位板(15)的一侧设有柔性护垫。