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专利号: 2024212575206
申请人: 陕西晶奕芯原科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用切面抛光装置,包括底座,所述底座上设有支撑架,其特征在于:还包括在支撑上设有的支撑打磨机构和翻转夹持机构;所述翻转夹持机构包括支撑轴和气缸一,所述支撑轴转动设于支撑架的两侧侧壁上,其中一组所述支撑轴贯穿支撑架的侧壁且连接有翻转组件,两组所述支撑轴之间设有翻转架,所述气缸一固定连接于翻转架的两侧侧壁上,所述气缸一的输出端设有夹块。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于:所述翻转组件包括固定板和蜗轮,所述固定板设于支撑架的侧壁上,所述固定板对称设有两组,两组所述固定板之间转动设有蜗杆,所述蜗轮连接于其中一组所述支撑轴的伸出端,所述蜗轮与蜗杆啮合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于:所述支撑打磨机构包括气缸二和气缸三,所述气缸二设于支撑架的顶壁上,所述气缸二的输出端设有抛光机,所述气缸三设于底座的顶壁上,所述气缸三的输出端设有托板,所述托板设于抛光机的下方。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于:所述支撑架呈倒U型设置。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用切面抛光装置,其特征在于:所述蜗杆的一端贯穿固定板且设有电机。